電暈的引進(jìn)是對(duì)這些工藝的創(chuàng)新。低溫電暈不僅可以達(dá)到高潔凈度要求，電暈處理機(jī)故障處理而且處理過程完全是無電位過程，即在電暈處理過程中，電路板上不會(huì)有電位差而引起放電。

工作時(shí)，電暈處理機(jī)故障處理先用真空泵將腔體內(nèi)的空氣吸出，形成真空環(huán)境，然后在整個(gè)腔體內(nèi)形成電暈，并直接對(duì)內(nèi)部材料進(jìn)行表面處理。這種空腔電暈的處理效果優(yōu)于常壓電暈。后續(xù)運(yùn)行成本高，主要是真空泵連續(xù)運(yùn)行耗電量大。此外，設(shè)備需要更多的時(shí)間在真空環(huán)節(jié)工作。對(duì)于使用自動(dòng)化生產(chǎn)線并要求加工效率的工業(yè)領(lǐng)域來說，局限性是顯而易見的。氣動(dòng)輝光電暈技術(shù)。采用射頻作為激勵(lì)能量，其工作頻率為13.56MHz。

固體材料表面與電暈接觸時(shí)，電暈處理橡膠印刷材料嗎表面的微觀結(jié)構(gòu)、化學(xué)性質(zhì)和能量都會(huì)發(fā)生變化。電暈表面改性（電暈表面處理）是利用電暈的特性，對(duì)待處理固體材料表面進(jìn)行清洗、活化和活化，以達(dá)到改變表面微觀結(jié)構(gòu)、化學(xué)性質(zhì)和能量的目的。電暈清洗是電暈表面改性的常用方式之一。

與傳統(tǒng)方法相比，電暈處理機(jī)故障處理電暈表面改性具有成本低、無浪費(fèi)、無污染和處理效果好等優(yōu)點(diǎn)，在金屬、微電子、聚合物、生物功能材料等諸多領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。電暈表面改性將材料暴露在非聚合氣體電暈中，電暈轟擊材料表面，引起材料表面結(jié)構(gòu)的諸多變化，從而完成材料的活化改性功能。表面改性的功能層極?。◣椎綆装偌{米），不會(huì)影響材料整體宏觀功能，是徹底的無損過程。

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結(jié)果表明，電暈催化CO2共活化CH4氧化制C2烴中甲烷的C-H鍵斷裂主要通過以下途徑發(fā)生：1。CH4與高能電子的非彈性碰撞；2.活性氧活化CH4；3.催化劑吸附CH分子，激活C-H鍵，使C-H鍵斷裂。二氧化碳的轉(zhuǎn)化途徑如下：1。CO2分子與高能電子的非彈性碰撞；2.體系中的活性物種如CHx、H等活化CO2；3.催化劑吸附CO2分子，活化C-0鍵，促進(jìn)C-O鍵斷裂形成CO和活性O(shè)原子。

而射頻電暈（激發(fā)頻率13.56MHz)則屬于物理和化學(xué)雙響應(yīng)型。（2）工作氣體的種類對(duì)電暈清洗的種類也有一定的影響。例如，主要利用Ar2、N2等惰性氣體產(chǎn)生的電暈進(jìn)行物理清洗，通過脫殼效應(yīng)清洗數(shù)據(jù)的外觀；而O2、H2等反應(yīng)氣體產(chǎn)生的電暈主要用于化學(xué)清洗。憑借活性自由基與污染物（多為碳?xì)浠衔铮┑幕瘜W(xué)反應(yīng)，生成一氧化碳、二氧化碳、水等小分子，并從數(shù)據(jù)表面去除。

2）硅片電暈除膠/除膠盒將硅片置于真空反應(yīng)系統(tǒng)中，少量氧氣加1500V高壓，由高頻信號(hào)發(fā)生器產(chǎn)生高頻信號(hào)，在石英管中形成強(qiáng)電磁場，氧化電離形成各種混合電暈的輝光柱。

與基于液相的（納米）米材料制備技術(shù)相比，常壓電暈技術(shù)可以減少或避免溶劑和表面活性劑的使用，從而獲得純度更高的（納米）米結(jié)構(gòu)材料；與CVD方法相比，高溫電子撞擊引起的局部表面加熱可以使材料以更低的溫度、更高的速度形成高熔點(diǎn)晶體（納米）顆粒，從而避免整個(gè)基體的加熱。此外，電暈技術(shù)還可用于材料表面的刻蝕、混合和支化聚合。下面將介紹低溫電暈技術(shù)在鋰電池材料制備中的應(yīng)用。

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