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等離子清洗、刻蝕產(chǎn)生等離子表面處理的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電磁場(chǎng),用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體越來(lái)越稀薄,分子問距及分子或離子的白由運(yùn)動(dòng)距離也越來(lái)越長(zhǎng),受磁場(chǎng)作用,發(fā)生碰撞而形成等離子表面處理,同時(shí)會(huì)發(fā)生輝光。等離子表面處理在電磁場(chǎng)內(nèi)空間運(yùn)動(dòng),并轟擊被處理物體表面,從而達(dá)到表面處理、清洗和刻蝕的效果。

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