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廣東真空等離子處理機(jī)批發(fā)
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1.等離子清洗機(jī)在導(dǎo)管、醫(yī)用支架和隱形眼鏡等許多醫(yī)療器械中,經(jīng)常使用功能性涂層來提高生物相容性并減少有害的副作用。然而,這些醫(yī)療器械大多具有化學(xué)惰性表面和低表面能,這使得功能涂層難以粘附在表面上。等離子清洗劑可以改善表面性能并產(chǎn)生化學(xué)活性官能團(tuán),等離子清洗劑表面處理技術(shù)可以提高生物醫(yī)學(xué)涂層的附著力。 2.金屬、聚合物和硅膠可以用等離子清潔劑處理,以改善蛋白質(zhì)吸附和細(xì)胞粘附。
簡(jiǎn)單而言,自動(dòng)清洗臺(tái)是多片同時(shí)清洗,的優(yōu)勢(shì)在于設(shè)備成熟、產(chǎn)能較高,而單晶圓清洗設(shè)備是逐片清洗,優(yōu)勢(shì)在于清洗精度高,背面、斜面及邊緣都能得到有效的清洗,同時(shí)避免了晶圓片之間的交叉污染。45nm之前,自動(dòng)清洗臺(tái)即可以滿足清洗要求,在目前仍然有所應(yīng)用;而在45以下的工藝節(jié)點(diǎn),則依賴于單晶圓清洗設(shè)備達(dá)到清洗精度要求。在未來工藝節(jié)點(diǎn)不斷減小的情況下,單晶圓清洗設(shè)備是目前可預(yù)測(cè)技術(shù)下清洗設(shè)備的主流。
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等離子清洗過程涉及許多影響顆粒并直接影響去除效果的復(fù)雜物理過程,廣東真空等離子處理機(jī)批發(fā)如等離子的產(chǎn)生和沉積能量的積累。直徑為10~2納米的顆粒分布在硅襯底表面,除極小的納米顆粒外,大部分顆粒在等離子體的作用下被去除。等離子沖擊波對(duì)去除微納米顆粒的影響非常明顯。直徑大于 0.5 μm 的顆粒被完全去除,但小于該尺寸的顆?;救コ嗽紨?shù)量的 50% 左右。
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