EtchantEtch rate ratioEtch rate(absoluteAdvantages(+)Disadvantages(-)( ）/(111)(110)/(111)( )Si3N4SiO2KOH(44%，珠海非標(biāo)生產(chǎn)等離子清洗機(jī)腔體在線(xiàn)咨詢(xún)85℃)3006o01.4μm/min<0.1nm/min<1.4nm/min(-)metal ion containing(+)strongly anisotropicTMAH(25%，80 ℃)3768o.3-1μm/min<0.lnm/tmin<0.2nm/min(-)weak anisotropic(+)metal ion IreeEDP(115℃)20101.25μm/mino.1nm/min0.2nm/min(-)weak anisotropic，toxic(+)metal ion free，metallichard masks possible。
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防止生物污染：提高醫(yī)療器械在體內(nèi)和體外的生物相容性。四。等離子發(fā)生器光學(xué)領(lǐng)域一種。鏡片清洗：去除有機(jī)膜；灣。隱形眼鏡：提高隱形眼鏡的潤(rùn)濕性； C。光纖：提高光纖連接器的透光率。五。等離子發(fā)生器橡膠一種。表面摩擦：降低密度密封件與O型圈之間的表面摩擦；灣。附著力：提高粘合劑對(duì)橡膠的附著力，珠海非標(biāo)加工等離子清洗機(jī)腔體專(zhuān)業(yè)團(tuán)隊(duì)并在等離子體中施加離子加速?zèng)_擊表面，或采用化學(xué)蝕刻選擇性地改變表面形態(tài)，從而更多地賦予大量結(jié)合點(diǎn)，提高附著力。
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