有許多客戶在使用真空等離子清洗機清洗產(chǎn)品時會出現(xiàn)洗不干凈的情況出現(xiàn),那么會有哪些因素是導致真空等離子清洗機洗不干凈呢?為探究等離子清洗過程對于最終清洗效果影響及其影響原因,針對工藝中使用的真空等離子清洗機工作特點和可調(diào)節(jié)參數(shù),下面我們一起來分析一下。雖然等離子清洗是一種潔凈、高效、易控制的新清洗技術(shù),但要把等離子清洗的優(yōu)勢充分發(fā)揮,同時避免造成被清洗下件和產(chǎn)品的表面損傷,應(yīng)該慎重選取清洗參數(shù),包括氣體、流量和功率,清洗時間等角度考慮。
工藝氣體:
真空等離子清洗機洗不干凈首先應(yīng)該考慮的第一個工藝因素是充入真空腔室進行反應(yīng)的氣體,氣體基本上決定了清洗是否能達到要求。比方說,如果是清洗氧化物,就應(yīng)該通入氬氫混合氣體進行還原。清洗有機污染物,就應(yīng)該通入氧氣進行反應(yīng),如果在工藝氣體選擇上出現(xiàn)錯誤,再怎么調(diào)整功率時間,氣體流量都是徒勞無功的。另外還有些污染物是無法通過等離子清洗去除的,如無機污染物,灰塵(清洗效果不怎么好)等。
氬氣和氧氣是等離子清洗中最常用的工作氣體。根據(jù)應(yīng)用目的不同,這兩種氣體可以單獨使用,也可以組合或混合使用。
清洗時間和功率:
其他如果是出現(xiàn)清洗后有效果,但是效果不怎么好,這個時候就應(yīng)該考慮其他工藝參數(shù)了,功率和清洗時間都和清洗效果有很大關(guān)系,功率加大清洗效果相對會變好,但也要注意過大的功率可能會造成產(chǎn)品表面損傷。同樣適當延長清洗時間也會對清洗效果有幫助,(注意這不是絕對的),過長的清洗時間同樣可能會造成產(chǎn)品表面損傷。
氣體流量:
工藝氣體流量越大,激發(fā)的等離子濃度越大,但流量變大容易導致激發(fā)困難及離子能量變小。氣體流量越小,激發(fā)的等離子濃度相對越小,單流量越小,離子的阻力也相對越小,能獲得能量更高的離子。綜上,以化學清洗為主的清洗工藝,可以適當增加氣體流量,以物理清洗為主的清洗工藝則可以考慮適當減少氣體流量。
真空等離子清洗機清洗效果除與等離子清洗設(shè)備的參數(shù)設(shè)置有關(guān)外,也與樣品形狀及樣品的放置有關(guān)。需要清洗的產(chǎn)品形狀如果有被遮擋的部分,那么被遮擋的部分就很有可能洗不干凈。另外,根據(jù)實際操作經(jīng)驗來說,產(chǎn)品放在正極的清洗效果往往會比負極要好。另外適當調(diào)整電極間距也能影響等離子清洗效果。24484