目前等離子清洗技術(shù)在光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、高分子、生物醫(yī)學(xué)、微流體力學(xué)等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。通過等離子清洗機(jī)的表面處理,能夠改善材料表面的潤濕能力,使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作,增強(qiáng)粘合力、鍵合力,同時去除有機(jī)污染物、油污或油脂。
等離子清洗機(jī)能移除光學(xué)元件、半導(dǎo)體元件等表面的光阻物質(zhì),去除金屬材料表面的氧化物。例如玻璃光學(xué)鏡片通過借助等離子表面處理技術(shù),樹利用能量轉(zhuǎn)換技術(shù),在一定的真空負(fù)壓狀態(tài)下,以電能將氣體轉(zhuǎn)變成活性極高的氣體等離子體,氣體等離子能輕柔地沖刷固體樣品表面,引起分子結(jié)構(gòu)的改變,從而達(dá)到對樣品表面有機(jī)污染物進(jìn)行超清洗,從而在極短的時間內(nèi)實(shí)現(xiàn)超清洗,從而達(dá)到對樣品表面有機(jī)污染物的超清洗。在一定條件下,樣品的表面性質(zhì)也會發(fā)生變化。24644