如果您對等離子表面清洗設(shè)備還有其他問題，附著力零 牽引力變小歡迎隨時(shí)聯(lián)系我們（廣東金萊科技有限公司）
腔室（根據(jù)清洗劑選擇氧氣、氫氣、氬氣、氮?dú)獾雀鞣N氣體），附著力零 牽引力變小壓力保持在Pa左右，通過接地裝置在真空腔內(nèi)的電極之間施加高頻電壓。氣體通過輝光放電分解和離子化，產(chǎn)生等離子體。在真空室內(nèi)產(chǎn)生的等離子體完全覆蓋待清潔物體后，開始清潔操作并繼續(xù)清潔過程。幾十秒到幾分鐘。下面詳細(xì)介紹使用等離子清洗機(jī)時(shí)應(yīng)注意的事項(xiàng)。 1.在開啟等離子清洗機(jī)之前，需要做好各種準(zhǔn)備工作。
2.接下來，附著力零 牽引力變小將用于等離子清洗的氣體引入真空室以穩(wěn)定室內(nèi)壓力。根據(jù)清洗劑的不同，可以使用氧氣、氬氣、氫氣、氮?dú)夂退姆嫉葰怏w。 3.當(dāng)在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓時(shí)，氣體分解產(chǎn)生等離子體，輝光放電產(chǎn)生等離子體，在真空室內(nèi)產(chǎn)生等離子體。涵蓋已處理的內(nèi)容 一般來說，清潔過程持續(xù)數(shù)十秒到數(shù)十分鐘，具體取決于被處理的不同材料。四。清潔后，關(guān)閉電源，用真空泵排出氣體和汽化的污垢，完成清潔。
然后通過Ar, Ar等離子體誘導(dǎo)硫蒸汽放電產(chǎn)生硫等離子體，附著力零級是多少硫等離子體與加載平臺(tái)上的CaAs樣品反應(yīng)，在樣品表面生成穩(wěn)定的含硫化合物。為了在更大范圍內(nèi)調(diào)節(jié)硫蒸氣分壓，我們通過調(diào)節(jié)真空擋板適當(dāng)控制真空系統(tǒng)的抽真空速率，以保證腔內(nèi)足夠穩(wěn)定的硫蒸氣濃度參與樣品表面反應(yīng)。氬等離子體經(jīng)射頻等離子體清洗后，PL強(qiáng)度略高于未經(jīng)處理的GaAs樣品。
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CO2添加量對等離子等離子體下CH4轉(zhuǎn)化反應(yīng)的影響：在O2等離子體甲烷氧化偶聯(lián)反應(yīng)中，O2的加入量直接影響CH4的轉(zhuǎn)化率和C2烴的選擇性，O2的加入量減少。 CH4的轉(zhuǎn)化率如下。少量、過量添加 O2 會(huì)導(dǎo)致 CH4 氧化為 COx (x = 1, 2)。等離子體作用下的CO2氧化CH轉(zhuǎn)化反應(yīng)還包括加入適量的CO2。隨著供氣中CO2濃度從15%增加到85%，CH4的轉(zhuǎn)化率逐漸提高，從以下結(jié)果可以看出轉(zhuǎn)化率。
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