等離子體表面處理器在低溫ECR刻蝕過(guò)程中增加O2的相對(duì)流量時(shí)，表面處理油污去除硅的刻蝕速率會(huì)明顯提高，F(xiàn)含量與O2含量的比值在刻蝕過(guò)程中起著重要作用。并且在當(dāng)今的生產(chǎn)過(guò)程中，等離子體表面處理器的低溫等離子刻蝕工藝無(wú)法廣泛應(yīng)用的主要困難在于，在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中很難將晶圓襯底保持在很低的反應(yīng)溫度下，整個(gè)刻蝕腔會(huì)非常復(fù)雜，過(guò)程中需要很長(zhǎng)時(shí)間來(lái)改變硅片的溫度，使得這種有效的高深寬比刻蝕工藝無(wú)法進(jìn)入工業(yè)應(yīng)用。。

等離子體表面處理技術(shù)通過(guò)改變PP塑料的微觀結(jié)構(gòu)，久美特表面處理廠家去除有機(jī)物，在表層形成親水基團(tuán)，是一種有效的環(huán)保技術(shù)，可完全替代PP處理劑。汽車內(nèi)、外部及功能部件用PP塑料可采用等離子表面處理，以提高粘接可靠性、涂布或印刷質(zhì)量及涂布強(qiáng)度。

涂料和鍍膜領(lǐng)域?qū)ΣＡА⑺芰?、陶瓷、高分子等材料進(jìn)行表面改性，表面處理油污去除可使其活化，增強(qiáng)表面附著力、潤(rùn)濕性和相容性，顯著提高涂料和鍍膜質(zhì)量。在牙科領(lǐng)域?qū)︹佈酪浦参锖凸柰獩_壓材料進(jìn)行預(yù)處理，以增強(qiáng)其潤(rùn)濕性和相容性。在醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，對(duì)假體移植物和生物材料進(jìn)行表面預(yù)處理可以增強(qiáng)其潤(rùn)濕性、粘附性和相容性。醫(yī)療器械消毒滅菌。

主板由導(dǎo)電銅箔、環(huán)氧樹(shù)脂和膠粘劑制成，表面處理油污去除附接的主板要與電路連接，需要在主板上鉆一些電路微孔，然后鍍銅。微孔中間會(huì)殘留一些膠渣，因?yàn)殄冦~后膠渣會(huì)剝落，即使當(dāng)時(shí)沒(méi)有剝落，在使用過(guò)程中也會(huì)因高溫而剝落造成短路，所以這些膠渣必須清洗（去除），普通的水性清洗設(shè)備無(wú)法徹底清洗，所以需要使用等離子清洗機(jī)進(jìn)行表面清洗。有些材料表面很光滑，在使用膠水時(shí)相互粘附，往往粘得不牢，或不耐用，嚴(yán)重影響產(chǎn)品質(zhì)量。

表面處理油污去除

但脫模劑的使用不可避免地會(huì)在復(fù)合膜表面留下多余的脫模劑，造成涂層表面污染，界面層薄弱，使涂覆的涂層容易脫落。常規(guī)的清洗方法是用丙酮等有機(jī)溶劑清洗表面。為了去除殘留在復(fù)合材料表面的脫模劑，可在擦拭或研磨后進(jìn)行清洗。但使用上述兩種方法不僅引入了有機(jī)溶劑的使用，還會(huì)產(chǎn)生大量粉塵污染，嚴(yán)重影響環(huán)境，危及操作人員的人身安全。并采用綠色環(huán)保的等離子技術(shù)進(jìn)行清洗。

再如，在釬焊過(guò)程中，當(dāng)產(chǎn)品上的石墨顆粒污染嚴(yán)重時(shí)，可在等離子清洗前加入鋸末拋光工藝，去除石墨顆粒污染。總之，應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品和環(huán)境條件適當(dāng)調(diào)整前處理工藝，保證產(chǎn)品電鍍表面的清潔度。在等離子清洗機(jī)的預(yù)處理過(guò)程中，還必須注意根據(jù)涂層產(chǎn)品的數(shù)量及時(shí)更換堿液和酸液，否則不僅達(dá)不到預(yù)處理效果（效果），還會(huì)使涂層表面沾染雜質(zhì)。二、優(yōu)化鍍鎳工藝--等離子清洗機(jī)鍍鎳方法的優(yōu)化也是解決鍍鎳發(fā)泡問(wèn)題的有效途徑。

低溫等離子體設(shè)備去除污染物的原理；低溫等離子體技術(shù)處理污染物的原理是：在外加電場(chǎng)作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量高能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離、激發(fā)，進(jìn)而引發(fā)一系列復(fù)雜的物理化學(xué)反應(yīng)，使復(fù)雜的大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹?jiǎn)單的小分子安全物質(zhì)，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變?yōu)闊o(wú)毒無(wú)害或低毒低有害物質(zhì)，從而使污染物得到降解和去除。

（4）接觸時(shí)間：待清洗材料在等離子體中的接觸時(shí)間對(duì)材料的表面清洗結(jié)果和等離子體的工作效率有重要而直接的影響。暴露時(shí)間越長(zhǎng)，清洗效果越好，但工作效率越低。此外，長(zhǎng)時(shí)間清洗可能會(huì)損壞材料表面。（5）傳輸速度：對(duì)于大氣等離子體處理器的清洗過(guò)程，處理大型物體需要連續(xù)驅(qū)動(dòng)。因此，待清洗的物體與電極之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)越慢，處理結(jié)果就越好。

表面處理油污去除

它由等離子體發(fā)生器、氣體傳輸管、等離子體噴嘴等部件組成，鑄鋁件的表面處理產(chǎn)生高壓高頻能量，通過(guò)激活和調(diào)節(jié)噴嘴內(nèi)電弧放電產(chǎn)生低溫等離子體，通過(guò)壓縮空氣將等離子體噴射到工件表面。當(dāng)?shù)入x子體與被處理物體表面接觸時(shí)，引起物體變化和化學(xué)反應(yīng)。清潔表面，去除碳化氫污垢，如油脂、輔料等，或形成粗糙表面，或產(chǎn)生高密度化學(xué)交聯(lián)層，或添加含氧極性基團(tuán)（羥基和羧基），可使各種涂層材料結(jié)合，這些基因在涂層和涂布過(guò)程中發(fā)揮最佳作用。