殘留的光敏電阻、樹脂、液體殘留物和其他有機(jī)污染物暴露在等離子體區(qū)后，一種雙面電暈處理的薄膜電容器可以在短時間內(nèi)去除。等離子體表面清洗表面改性（等離子體表面處理），即利用等離子體的特性對待加工固體原料表面進(jìn)行清洗、活化、激發(fā)，以改變表面的微觀結(jié)構(gòu)、化學(xué)性質(zhì)和能量。等離子體是一種高能不穩(wěn)定條件。利用這種高能和不穩(wěn)定的條件，等離子體有了各種各樣的應(yīng)用。

而且可以選擇性地清洗材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)；九、在完成清洗去污的同時，一種雙面電暈機(jī)還能提高材料本身的表面性能。如改善表面潤濕性、提高薄膜附著力等，這在很多應(yīng)用中都非常重要。接下來我講一下等離子清洗的缺點(diǎn)，也就是它的缺點(diǎn)；等離子清洗是一種微觀清洗，不適合污染嚴(yán)重的清洗。第一，等離子清洗有一個明顯的缺點(diǎn)，就是清洗的時效性。血漿清洗的時效性一般很短，從幾個小時到幾天不等。

對于這類電子應(yīng)用，一種雙面電暈機(jī)等離子清洗機(jī)處理技術(shù)的特殊性能為該領(lǐng)域的工業(yè)化應(yīng)用提供了新的可能。等離子清洗機(jī)在硅片和芯片工業(yè)中的應(yīng)用；硅片、芯片和高性能半導(dǎo)體是高靈敏度的電子元件，等離子清洗機(jī)技術(shù)作為一種制造工藝也隨著這些技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展。大氣環(huán)境下等離子體技術(shù)的發(fā)展為等離子體清洗提供了新的應(yīng)用前景，特別是在自動化生產(chǎn)中發(fā)揮了重要作用。。

等離子體表面處理裝置在儀器制造領(lǐng)域的應(yīng)用；等離子體表面處理裝置是一種非常有效的表面活化方法。等離子體表面處理特別適用于安全表面處理，一種雙面電暈機(jī)可實(shí)現(xiàn)在線工藝模式，廣泛應(yīng)用于儀器制造領(lǐng)域。等離子體表面處理裝置和設(shè)備應(yīng)用于醫(yī)療器械注射成型領(lǐng)域，其產(chǎn)品的尺寸精度和外觀質(zhì)量至關(guān)重要。

一種雙面電暈處理的薄膜電容器

一、等離子處理器在工業(yè)清洗行業(yè)的優(yōu)勢：a.環(huán)保技術(shù)：物體反應(yīng)全過程為固體相干反應(yīng)，不消耗水土資源，不需增加化學(xué)藥劑，對環(huán)境二次污染；b.適應(yīng)性廣：可不區(qū)分待處理板材類型進(jìn)行處理，如金屬材料、半導(dǎo)體材料、氧化物及大部分高分子材料；c.低溫：接近常溫，尤其主要用于高分子材料，比放電、火焰法保留時間長，表面張力系數(shù)高；d.功能強(qiáng)：只涉及高分子材料的淺表面，在保持材料本身特性的同時，能賦予其一種或多種功能；e.成本低：裝置簡單，操作維護(hù)方便，可連續(xù)運(yùn)行。

我們還可以根據(jù)使用單元生產(chǎn)線的具體要求，將系統(tǒng)與生產(chǎn)線進(jìn)行匹配，無論是新線還是老線都可以滿足。問：等離子清洗機(jī)在處理過程中會產(chǎn)生污染嗎？答：等離子表面處理是一種“干凈”的處理工藝。只要在處理過程中由于電離空氣而產(chǎn)生少量臭氧O3，在一些數(shù)據(jù)處理過程中就會分解出少量氮氧化物，因此應(yīng)配備排氣系統(tǒng)。問：等離子清潔器需要特殊氣體嗎？答：除壓縮空氣外，在線辦理過程中不需要其他特殊氣體。

市面上的真空等離子體清洗設(shè)備大多是電容耦合放電，也就是CCP放電，大家購買使用的等離子體處理設(shè)備相信也大多是這種放電形式。在這類器件中，電極相當(dāng)于電容器，通常成對，包括水平電極、垂直電極、組合電極等。無論是采用13.56MHz射頻激勵還是40kHz中頻激勵，等離子體發(fā)生器在一定真空環(huán)境下對電極施加能量時，電極之間會產(chǎn)生電位差，激發(fā)氣體產(chǎn)生等離子體。

產(chǎn)生等離子體的等離子體清洗/蝕刻裝置是將兩個電極布置在密封容器中形成電磁場，用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體越來越稀薄，分子之間的距離和分子或郭的自由運(yùn)動距離越來越長，在磁場作用下，碰撞形成等離子體，同時會產(chǎn)生輝光，等離子體在電磁場中運(yùn)動，轟擊被處理物體表面，以去除表面油污和表面氧化物，灰化表面有機(jī)物和其他化學(xué)物質(zhì)，從而達(dá)到表面處理、清潔和蝕刻的效果。通過等離子體處理工藝可以實(shí)現(xiàn)選擇性表面改性。

一種雙面電暈機(jī)

然而，一種雙面電暈處理的薄膜電容器由于電子是自由的，所以壁周圍只留下笨拙的離子，但整個腔室必須是電中性的，因此必須在壁上形成一個結(jié)構(gòu)來阻止電子繼續(xù)下去隨后是圍繞壁的電離，這種結(jié)構(gòu)平衡了等離子體的電中性特性。這種結(jié)構(gòu)叫做護(hù)套，護(hù)套可以是上面提到的電容器。由于電容器處于放電環(huán)境，外部有電荷堆，因此形成電場，而電場必須對應(yīng)電壓。因?yàn)榈竭_(dá)電容器周圍的電荷堆是動態(tài)平衡的，這個電場和電壓是動態(tài)靜電場，也就是直流電場和直流電壓，所以形成VDC。