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等離子涂鍍聚合    在涂鍍中兩種氣體同時(shí)進(jìn)入反應(yīng)艙,福建真空等離子表面活化價(jià)格氣體在等離子環(huán)境下會(huì)聚合。這種應(yīng)用比活化和清洗的要求要嚴(yán)格一些。典型的應(yīng)用是保護(hù)層的形成,應(yīng)用于燃料容器、防刮表面、類似聚四氟(PTFE)材質(zhì)的涂鍍、防水鍍層等。涂鍍層非常薄,通常為幾個(gè)微米,此時(shí)表面的疏水性非常好。

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未經(jīng)過氫等離子體表面處理儀處理的Si-C/Si-O譜峰強(qiáng)度之比(面積之比)為0.87。經(jīng)過處理的Si-C/Si-O的XPS譜峰強(qiáng)度之比(面積之比)為0.21,與沒有經(jīng)等離子體處理的相比下降了75%。經(jīng)過濕法處理的表層Si-O的含量明顯高于經(jīng)過等離子體處理的表層。高能電子衍射(RHEED分析發(fā)現(xiàn)氫等離子體表面處理儀處理后的碳化硅表層比傳統(tǒng)濕法處理的碳化硅表層更加平整,而且處理后表層出現(xiàn)了(1x1)架構(gòu)。

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