等離子體表面處理設(shè)備可稱為集合等離子體處理技術(shù)的一種工藝設(shè)備，附著力促進(jìn)劑樹(shù)脂在微電子、汽車制造等領(lǐng)域，業(yè)內(nèi)人士常稱之為&ldquo；等離子清洗機(jī)；隨著技術(shù)的發(fā)展，等離子體處理設(shè)備的應(yīng)用越來(lái)越廣泛，等離子體處理技術(shù)逐漸為大眾所熟知。今天，我們就等離子體表面處理技術(shù)在微電子工業(yè)中的應(yīng)用與大家進(jìn)行交流。如果您在制造過(guò)程中遇到問(wèn)題，希望本文對(duì)您有所幫助。

CFC清洗、ODS清洗等傳統(tǒng)清洗加工技術(shù)由于環(huán)境污染和成本高，附著力促進(jìn)劑樹(shù)脂限制了現(xiàn)代電子器件安裝技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，特別是對(duì)于半導(dǎo)體晶圓制造的精密機(jī)械設(shè)備生產(chǎn)，因此干試清洗、特別是等離子體清洗技術(shù)是目前等離子體清洗技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)。等離子體技術(shù)有兩種清洗方式，即等離子體在材料表面的反射。常見(jiàn)氣體，如氬氣(AR)、氮?dú)?N2)等。二是氧自由基的化學(xué)變化，常見(jiàn)的氣體有氫(H2)、氧(O2)等。

利用等離子體對(duì)F314表面進(jìn)行初步改性研究，附著力促進(jìn)劑樹(shù)脂F(xiàn)T-IR表明F214表面引入了-C=O、-OH等活性基團(tuán)，接觸角測(cè)試表明其表面能有一定程度提高。。等離子表面處理氟橡膠等離子體是一種電離度超過(guò)0.1%的氣體, 是由離子、電子和中性粒子 (原子和分子) 所組成的集合體。等離子體整體呈中性, 但含有相當(dāng)數(shù)量的電子和離子, 表現(xiàn)出相應(yīng)的電磁學(xué)等性能, 如等離子體中有帶電粒子的熱運(yùn)動(dòng)和擴(kuò)散, 也有電場(chǎng)作用下的遷移。

plasma設(shè)備常用的電源有兩種，鍍鉻附著力促進(jìn)劑樹(shù)脂一種是13.56KHz的射頻電源，這種電源產(chǎn)生的等離子密度高，能量柔和，溫度低，功率一般為1~2KW，大的可達(dá)5KW，小的可達(dá)幾百W，是用得多的N2電源；另一種是40KHz的中頻電源，這種電源與射頻電源正好相反，等離子的密度不高，但強(qiáng)度大，能量高，高度高，功率也高，大功率可達(dá)幾十KW，甚至從理論上講，幾百KW，常用作除渣、刻蝕，真空plasma設(shè)備如果使用中頻電源，需要加水冷，這也是plasma設(shè)備常用的電源。

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等離子體清洗技術(shù)作為一種材料，通過(guò)真空吸附動(dòng)力的干氣相化學(xué)和物理反應(yīng)，具有徹底剝離清潔、無(wú)污染、無(wú)殘留的特點(diǎn)，與濕式清洗劑相比，不僅降低了企業(yè)的生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，并有效利用資源，建設(shè)綠色環(huán)保生態(tài)。。

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