因?yàn)槊糠N類型的氣體原子分子物理學(xué)中有自己的能級結(jié)構(gòu),所以高能電子可以激發(fā)氣體的不同層面,當(dāng)氣體分子和原子從高到低水平輻射何時(shí)返回不同的能量光子,光子能量代表著不同的波長,通過對光譜的分析,聚氨酯對木材的附著力可以對等離子體刻蝕過程進(jìn)行有效的分析。這種診斷過程經(jīng)常用于半導(dǎo)體制造中對電火花的監(jiān)測。圖2等離子體中的激勵(lì)爆震和光譜輻射電容耦合等離子體源的典型腔體結(jié)構(gòu)如下圖所示。功率以13.56MHZ的一般頻率加載到上、下電極。
等離子清洗機(jī)可用于清洗、刻蝕、活化和表面準(zhǔn)備等,可選擇40KHz、13.56MHz和2.45GHz三種射頻發(fā)生器,以適應(yīng)不同的清洗效率和清洗效果需要。等離子體和固體、液體或氣體一樣,是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的"活性"組分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。
2、等離子發(fā)生器同時(shí)產(chǎn)生大量的負(fù)離子及正離子,聚氨酯對pp的附著力由于負(fù)離子的數(shù)量遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于正離子的數(shù)量,所以正離子產(chǎn)生后馬上會被負(fù)離子中和,故空氣中不可能會存在大量的正離子,正離子與負(fù)離子本身是空氣成份中的一部分,故適量的正離子對人體沒有副作用,因此等離子發(fā)生器在對空氣進(jìn)行凈化殺菌的同時(shí)允許在有人的空間里進(jìn)行,對人體無副用。。
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2) 蒸發(fā)。即固體表面接受來自等離子體的能量而熔化、蒸發(fā)。3) 濺射。當(dāng)離子或中性粒子入射到表面時(shí),它的一部分能量傳給少數(shù)靶原子,其中有些在點(diǎn)陣達(dá)到熱平衡之前發(fā)射出去,這就是濺射。濺射是閾值性的,即當(dāng)入射粒子的能量大于某一閾值(通常為5~50eV)時(shí),才出現(xiàn)濺射。4) 化學(xué)濺射。發(fā)生在等離子體裝置表面的化學(xué)過程。主要是由于表面催化作用引起的。當(dāng)粒子入射到表面后,在表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)生成揮發(fā)性產(chǎn)物而釋放。
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