1)等離子清洗機(jī)顆粒物 顆粒物主要是某些高聚物、導(dǎo)電銀膠和蝕刻加工殘渣等。這類污染物質(zhì)一般首要依賴范德瓦爾斯獨(dú)特的吸引粘附在晶圓表層,影響到電子元器件刻蝕工藝程序的幾何立體圖形的構(gòu)成及電力學(xué)主要參數(shù)。這類污染物質(zhì)的清除方式首要以物理上的或有機(jī)化學(xué)的方式對顆粒物來進(jìn)行底切,逐步減少其與晶圓表層的觸碰范圍,最后將其清除。

等離子體表面處理機(jī)韌皮纖維表層改性: 在對化學(xué)纖維-高聚物等離子體處理過程中，高聚物表面改性的目的 等離子體表面處理機(jī)使等離子體產(chǎn)生的高能粒子和光子與板材表層出現(xiàn)激烈的相互影響，這種作用通常表現(xiàn)為自由基化學(xué)反應(yīng)。其主要表現(xiàn)為表層清潔作用、表層腐蝕作用、表層分子交聯(lián)、表層化學(xué)結(jié)構(gòu)變化四種類型。每一種效果都有一定程度的影響，但是根據(jù)處理對象、氣體的化學(xué)性質(zhì)、儀器類型和儀器參數(shù)的設(shè)置，某些影響可能會比其它更加明顯。

提高材料表面潤濕性的等離子體表面處理器處理系統(tǒng)解決方案；等離子體表面處理機(jī)用于提高聚合物材料、橡膠、金屬、玻璃、陶瓷等的潤濕性。改變難粘材料的分子，高聚物表面改性使其具有更好的粘附性能而不損傷表面。等離子體技術(shù)非常適用于三維塑料制品、薄膜、橡膠型材、涂布紙板、泡沫、固體材料等更厚的材料片材。適用于醫(yī)療、汽車、包裝、FPC、手機(jī)、高分子薄膜等工業(yè)領(lǐng)域。

電漿中微粒的能量通常在幾到數(shù)十電子伏特，高聚物表面改性的方法比高聚物材質(zhì)的結(jié)合鍵能更好地破壞有機(jī)高分子化合物的離子鍵，從而形成新的鍵；但遠(yuǎn)小于較高能放射性射線，只涉及材質(zhì)表層，不影響基體的性能。在低溫等離子中，處于非熱力學(xué)平衡狀態(tài)的電子具有很高的能量，能破壞材質(zhì)表層分子的離子鍵，使微粒的化學(xué)反應(yīng)活性增加(比熱低溫等離子更大)，而中性化顆粒溫度接近室溫，這為熱敏性高聚物高聚物表層改性提供了合適的條件。

高聚物表面改性

通過表面反應(yīng)有可能在表面引入特定的官能團(tuán),產(chǎn)生表面侵蝕,形成交聯(lián)結(jié)構(gòu)層或生成表面自由基。等離子體引發(fā)接枝聚合改性聚合物材料經(jīng)低溫等離子體處理后,表面活化生成大量自由基,這些活性自由基可以引發(fā)含不飽和鍵單體接枝到材料表面。通過等離子體處理引發(fā)接枝聚合是使極性基團(tuán)在材料表面固定不動的有效方法,等離子體表面處理與接枝聚合反應(yīng)一體化對聚合物表面改性可有效賦予高聚物表面高功能化。

因此，低溫等離子體處理后界面結(jié)合強(qiáng)度可明顯提高，而低溫等離子體處理制得的膠合板結(jié)合強(qiáng)度可達(dá)0.78MPa，提高20%，達(dá)到國家標(biāo)準(zhǔn)。這說明在粘接強(qiáng)度達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)的情況下，常壓低溫等離子體處理可以減少上膠量，降低了生產(chǎn)成本。 等離子體中的高能粒子高速撞擊木材表面，降解木材細(xì)胞壁中的高聚物。這些表面不規(guī)則的小刻痕增加了楊木的表面粗糙度，促進(jìn)了改性豆膠在楊木單板表面的滲透，增加了界面結(jié)合強(qiáng)度。

當(dāng)接觸能量較低時，等離子體與表面的相互作用只能改變材料的表面；影響僅局限于幾個分子層的深度區(qū)域，而不改變基底的體積特性。由該表面引起的變化取決于表面組成成分和使用的氣體。用來處理高聚物等離子體的氣體或混合氣體包括氮、氬、氧、一氧化二氮、甲烷、氨等其他物質(zhì)。每一種氣體都會產(chǎn)生一個獨(dú)特的等離子體成分和不同的表面特性。如等離子體誘導(dǎo)氧化、硝化、水解或胺化等，可使表面能迅速有效地提高。

除此之外，Plasma等離子設(shè)備以及沖洗技術(shù)性也應(yīng)用領(lǐng)域于光電子器件領(lǐng)域、機(jī)械設(shè)備與航空航天領(lǐng)域、高聚物領(lǐng)域、污染治理領(lǐng)域和（精）確測量領(lǐng)域，是品牌推廣的核心技術(shù)，如光電器件的鍍層、增加模貝或生產(chǎn)加工專用工具使用年限的耐磨損層、復(fù)合材質(zhì)的內(nèi)層、紡織物或潛在性眼鏡片的表層處理、微感應(yīng)器的生產(chǎn)制造、超微主板機(jī)械設(shè)備的生產(chǎn)加工技術(shù)性、外固定支架、人體骨骼或心心臟瓣膜的耐摩層等。

高聚物表面改性

plasma對高聚物、含氟高聚物等材料的表層改性可通過消融、交聯(lián)、激活和積累四種方式完成:消融是鑒于高能粒子對高聚物表層的躍遷，高聚物表面改性引起弱化學(xué)鍵裂開的環(huán)節(jié)。該環(huán)節(jié)只會影響暴露在等離子中的襯底表層比外部分子層的分子層。這些外部分子層與等離子反應(yīng)產(chǎn)生氣化產(chǎn)品后一般來說，表層的化學(xué)污染物通常由弱C-H鍵組成，因此等離子處理可以去除這些污染物。例如，油膜或注塑添加劑等有機(jī)物形成均勻、清潔、活性的高聚物表層。

這類表面自由基團(tuán)與等離子技術(shù)中原子或化學(xué)基中間的聯(lián)接產(chǎn)生新的高聚物功能群，高聚物表面改性的方法取代了原來的表面高分子功能群。高聚物表面改性可以改變材料表面的化學(xué)性質(zhì)，而材料的整體性質(zhì)不會改變。4)高聚物表面涂層:等離子技術(shù)涂層是通過工藝氣體的聚合作用在材料基層表面產(chǎn)生的薄層等離子技術(shù)涂層。