1)等離子清洗機(jī)顆粒物 顆粒物主要是某些高聚物、導(dǎo)電銀膠和蝕刻加工殘?jiān)?。這類(lèi)污染物質(zhì)一般首要依賴(lài)范德瓦爾斯獨(dú)特的吸引粘附在晶圓表層,影響到電子元器件刻蝕工藝程序的幾何立體圖形的構(gòu)成及電力學(xué)主要參數(shù)。這類(lèi)污染物質(zhì)的清除方式首要以物理上的或有機(jī)化學(xué)的方式對(duì)顆粒物來(lái)進(jìn)行底切,逐步減少其與晶圓表層的觸碰范圍,最后將其清除。
等離子體表面處理機(jī)韌皮纖維表層改性: 在對(duì)化學(xué)纖維-高聚物等離子體處理過(guò)程中，高聚物表面改性的目的 等離子體表面處理機(jī)使等離子體產(chǎn)生的高能粒子和光子與板材表層出現(xiàn)激烈的相互影響，這種作用通常表現(xiàn)為自由基化學(xué)反應(yīng)。其主要表現(xiàn)為表層清潔作用、表層腐蝕作用、表層分子交聯(lián)、表層化學(xué)結(jié)構(gòu)變化四種類(lèi)型。每一種效果都有一定程度的影響，但是根據(jù)處理對(duì)象、氣體的化學(xué)性質(zhì)、儀器類(lèi)型和儀器參數(shù)的設(shè)置，某些影響可能會(huì)比其它更加明顯。
提高材料表面潤(rùn)濕性的等離子體表面處理器處理系統(tǒng)解決方案；等離子體表面處理機(jī)用于提高聚合物材料、橡膠、金屬、玻璃、陶瓷等的潤(rùn)濕性。改變難粘材料的分子，高聚物表面改性使其具有更好的粘附性能而不損傷表面。等離子體技術(shù)非常適用于三維塑料制品、薄膜、橡膠型材、涂布紙板、泡沫、固體材料等更厚的材料片材。適用于醫(yī)療、汽車(chē)、包裝、FPC、手機(jī)、高分子薄膜等工業(yè)領(lǐng)域。
電漿中微粒的能量通常在幾到數(shù)十電子伏特，高聚物表面改性的方法比高聚物材質(zhì)的結(jié)合鍵能更好地破壞有機(jī)高分子化合物的離子鍵，從而形成新的鍵；但遠(yuǎn)小于較高能放射性射線(xiàn)，只涉及材質(zhì)表層，不影響基體的性能。在低溫等離子中，處于非熱力學(xué)平衡狀態(tài)的電子具有很高的能量，能破壞材質(zhì)表層分子的離子鍵，使微粒的化學(xué)反應(yīng)活性增加(比熱低溫等離子更大)，而中性化顆粒溫度接近室溫，這為熱敏性高聚物高聚物表層改性提供了合...
