ICP電暈在工業(yè)上的另一個主要應(yīng)用是電暈干法刻蝕,曲面電暈處理機(jī)操作規(guī)程尤其是反應(yīng)離子刻蝕(RIE)ICP電暈干法刻蝕可以克服濕法刻蝕的嚴(yán)重鉆孔效應(yīng)和各向同性,具有選擇性、各向異性等特點ICP電暈還廣泛應(yīng)用于輔助磁控濺射和電子束蒸發(fā)過程中,作為離子源改善反應(yīng)條件,降低反應(yīng)溫度。電暈。低溫電暈法處理環(huán)保工程工業(yè)廢水低溫電暈處理工業(yè)廢水有三種途徑。
因此,曲面電暈處理機(jī)處理電暈作用于固體表面后,固體表面原有的化學(xué)鍵可以被打破,電暈中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)絡(luò)交聯(lián)結(jié)構(gòu),極大地激活了表面活性。(3)新官能團(tuán)的形成--化學(xué)作用如果在放電氣體中引入反應(yīng)性氣體,活化材料表面會發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng),引入新的官能團(tuán),如烴基、氨基、羧基等,可以明顯提高材料的表面活性。電暈!。電暈就是利用這些活性成分的性質(zhì)對樣品表面進(jìn)行處理。
C.電子與物體表面的相互作用對物體表面的撞擊一方面可以促進(jìn)吸附在物體表面的氣體分子分解或吸附;另一方面,曲面電暈處理機(jī)處理大量的電子撞擊有利于引發(fā)化學(xué)反應(yīng)。由于電子的質(zhì)量極小,它們的運(yùn)動速度比離子快得多。進(jìn)行電暈處理時,電子比離子更早到達(dá)物體表面,表面帶負(fù)電荷,有利于引發(fā)進(jìn)一步反應(yīng)。離子與物體表面的相互作用通常指帶正電荷的陽離子的作用。陽離子傾向于加速并沖向帶負(fù)電的表面。
當(dāng)電暈?zāi)芰棵芏葹?60kJ/mol時,曲面電暈處理機(jī)處理C2H6的轉(zhuǎn)化率為23.2%,C2H4和C2H2的總收率為11.6%。一般認(rèn)為,流動電暈反應(yīng)器中高能電子的密度和平均能量主要由反應(yīng)氣體流量一定時的電暈?zāi)芰棵芏葲Q定。
曲面電暈處理機(jī)處理
整個清洗過程可在幾分鐘內(nèi)完成,因此具有收率高的特點;電暈清洗需要控制真空度在Pa左右,這種清洗條件很容易達(dá)到。
由于Ni-Nel的偏差&中尉; 但由于慣性,電子并沒有停在平衡位置,而是沖過平衡位置,反向位移。這反過來又導(dǎo)致相反方向的電荷分離,產(chǎn)生反向返回電場,在那里電子再次被拉回并沖過平衡位置。重復(fù)地,電子在平衡位置附近集體來回振蕩。由于離子質(zhì)量大,對電場的變化響應(yīng)較慢,因此可視為靜止不動,仍充當(dāng)均勻正電荷返回。當(dāng)這種中性在電暈中被打破時的空間電荷振蕩。因為一開始發(fā)現(xiàn)的人是朗繆爾,所以也被稱為“朗繆爾振蕩”。 根據(jù)反應(yīng)機(jī)理,電暈清洗一般包括:無機(jī)氣體被激發(fā)成電暈態(tài);氣相物質(zhì)吸附在固體表面;吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子;產(chǎn)物分子分解為氣相;產(chǎn)物分子被分離成氣相。電暈清洗設(shè)備適用于清洗、活化、蝕刻、沉積、接枝、聚合等多種材料表面改性處理;電暈活性高、效率高,不易對電子產(chǎn)品造成離子損傷。 曲面電暈處理機(jī)操作規(guī)程