根據(jù)等離子體的作用原理，選擇的氣體可分為兩類，一類是氫、氧等反應(yīng)性氣體，其中氫主要用于潔凈金屬表面的氧化物并發(fā)生還原反應(yīng)。用處理設(shè)備潔凈物體之前，先對(duì)所潔凈的物體及污物進(jìn)行分析，然后再進(jìn)行氣體選擇。等離子體處理裝置主要用于清洗物體表面的有機(jī)化合物，產(chǎn)生氧化反應(yīng)。
還有一種類型的氣體處理設(shè)備，如氬氣、氦氣和氮?dú)?，氮?dú)馓幚砜梢蕴岣卟牧系挠捕群湍湍バ?。氬和氦的性質(zhì)穩(wěn)定，且放電電壓低（氬原子的電離能E為15.57eV）易于產(chǎn)生亞穩(wěn)態(tài)的原子，首先等離子處理設(shè)備利用其高能粒子的物理作用凈化易被氧化或還原的對(duì)象，Ar+的電離能產(chǎn)生亞穩(wěn)態(tài)原子，從而避免表面材料發(fā)生反應(yīng)；其次利用氬氣易產(chǎn)生亞穩(wěn)態(tài)的原子，再與氧氫氣分子碰撞時(shí)發(fā)生電荷轉(zhuǎn)換和再結(jié)合，從而避免表面材料發(fā)生反應(yīng)。
等離子體處理設(shè)備在清潔表面氧化物的同時(shí)使用純氫是有效的，但這里主要考慮放電的穩(wěn)定性和安全性，在使用等離子體處理設(shè)備時(shí)最好選擇氬氫組合，材料容易氧化或恢復(fù)的等離子體處理設(shè)備也可以采用倒氧和氬氫氣體的清潔順序。24304