MOON 等人 131 使用 CU (DMAMB) 2 作為銅前驅(qū)體,甘肅等離子式除膠渣機(jī)價(jià)位并使用氫等離子體技術(shù)在 100-180°C 沉積范圍內(nèi)形成銅薄膜。沉積速率為0.065NM/EYCLE,膜中碳和氧的雜質(zhì)含量在5%左右??埔翣柕热?。 | 41采用等離子增強(qiáng)ALD技術(shù),用新型含氮雜環(huán)碳銅前驅(qū)體(COPPER(1)NHCS)沉積銅薄膜,在90℃的前驅(qū)體溫度和沉積溫度下具有電阻。 . 225C膠卷。

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