利用等離子體能量對(duì)物體表面進(jìn)行處理，無(wú)溶劑復(fù)合機(jī)電暈處理機(jī)可以準(zhǔn)確、有針對(duì)性地提高材料表面的附著力和潤(rùn)濕性。這樣，便于在工業(yè)上使用新型（甚至完全非極性）材料，以及環(huán)保、無(wú)溶劑、無(wú)揮發(fā)性有機(jī)化合物的涂料膠粘劑<；目前，許多化學(xué)表面處理工藝可以被等離子體處理技術(shù)所取代。

為了更好地控制這些等離子體特性，無(wú)溶劑復(fù)合機(jī)電暈處理機(jī)一般通過控制電子能量分布(EED)和離子能量分布(IED)來(lái)實(shí)現(xiàn)，因?yàn)殡娮雍碗x子的能量分布很大程度上影響著離子與晶圓表面的反應(yīng)速度。一般來(lái)說，等離子體清潔電子影響激發(fā)、電離、分解和熱擴(kuò)散等過程，從而影響許多中性反應(yīng)物的通量、能量和表面反應(yīng)速率。離子可以傳遞足夠的能量促進(jìn)表面化學(xué)反應(yīng)過程，誘導(dǎo)濺射，從而影響反應(yīng)離子的通量和能量，以及離子參與的表面反應(yīng)速率。。

通過對(duì)纖維表面形貌的觀察，無(wú)溶劑復(fù)合機(jī)電暈處理機(jī)發(fā)現(xiàn)CF4氣體改變了纖維的潤(rùn)濕性，使纖維與水的接觸角從0°變化；上升到136℃；這表明氟原子已經(jīng)注入到纖維表面。研究了低溫等離子體對(duì)絲狀織物各項(xiàng)性能的影響。發(fā)現(xiàn)低溫等離子體處理后織物的毛細(xì)效應(yīng)和上染率均有所提高。。低溫等離子體撞擊材料表面有兩種不同的反應(yīng)，不僅產(chǎn)生物理沖擊，還會(huì)對(duì)材料表面產(chǎn)生化學(xué)腐蝕。材料的表面改性是通過切割或激活材料表面的舊化學(xué)鍵來(lái)實(shí)現(xiàn)的。

在進(jìn)入電鍍過程之前，電暈處理對(duì)薄膜的影響外殼表面不可避免地會(huì)產(chǎn)生各種污垢，包括灰塵、固體顆粒、有機(jī)物等，同時(shí)由于自然氧化會(huì)產(chǎn)生一層氧化層。電鍍前必須對(duì)鍍件表面進(jìn)行清洗，否則會(huì)影響鍍層與基體的結(jié)合力，造成鍍層剝落起泡。傳統(tǒng)上通常采用甲苯、丙酮、乙醇等有機(jī)溶劑去除此類污染物。但這種方法一方面不徹底，容易造成涂層缺陷；另一方面會(huì)增加生產(chǎn)成本，造成環(huán)境問題。

無(wú)溶劑復(fù)合機(jī)電暈處理機(jī)

等離子體改性是在介質(zhì)阻擋放電中產(chǎn)生大量帶電粒子、激發(fā)粒子、光子、自由基等等離子體。利用這些高能等離子體沖擊材料表面，在不破壞材料表面特性的前提下，改變材料表面的物理化學(xué)性質(zhì)，以提高材料的比表面積、孔徑、孔容、表面官能團(tuán)等相關(guān)性能。與其他表面改性技術(shù)相比，等離子體改性主要具有無(wú)二次污染、不破壞材料表面特性等優(yōu)點(diǎn)。此外，等離子體改性技術(shù)與材料表面的相互作用形式多，工藝適用范圍廣，便于連續(xù)自動(dòng)化生產(chǎn)。

等離子體中自由基的存在對(duì)清潔具有重要意義，因?yàn)樽杂苫菀着c物體表面發(fā)生反應(yīng)，生成新的自由基或進(jìn)一步分解，最后可能分解成揮發(fā)性小分子，這些小分子可以穿透材料表面深達(dá)幾微米并產(chǎn)生作用，使附著在表面的物質(zhì)分子鍵斷裂分解，起到活化材料表面的作用。

施加足夠的能量使氣體電離，就變成了等離子體狀態(tài)。下面簡(jiǎn)單介紹一下等離子清洗機(jī)在電子工業(yè)中的應(yīng)用。1.手機(jī)殼手機(jī)種類繁多，外觀五顏六色。它們的顏色鮮艷，標(biāo)志醒目。但手機(jī)使用一段時(shí)間后，其外殼容易掉漆，甚至標(biāo)識(shí)也變得模糊不清，嚴(yán)重影響手機(jī)外觀形象。

同時(shí)建議多使用新型鉆針，降低鉆針使用壽命以保證質(zhì)量。當(dāng)然，涂層鋁鉆的層數(shù)和質(zhì)量也有影響。Desmear（Desmear）去除鉆井污染一般有硫酸法、等離子體法、鉻酸法和高錳酸鉀法四種方法。軟硬結(jié)合板Z目前理想的脫膠方法是等離子法（等離子體）。等離子體是利用射頻能量發(fā)生器，使離子、電子、自由基、自由基等在抽真空狀態(tài)下失去電學(xué)性質(zhì)，表現(xiàn)為中性。

電暈處理對(duì)薄膜的影響

施加足夠的能量使氣體電離，無(wú)溶劑復(fù)合機(jī)電暈處理機(jī)就變成了等離子體狀態(tài)。等離子體的“活性”成分包括：離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子體清洗機(jī)就是利用這些活性成分的性質(zhì)對(duì)樣品表面進(jìn)行處理，從而達(dá)到清洗等目的。等離子體和固體、液體或氣體一樣，是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫物質(zhì)的第四態(tài)。施加足夠的能量使氣體電離，就變成了等離子體狀態(tài)。