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要外加能量給電子，Z簡(jiǎn)單的方法就是用平行電極板加一直流電壓，電子在電極中，會(huì)被帶正電的電極所吸引而加速，在加速的過(guò)程中電子可以累積能量，當(dāng)電子的能量達(dá)到某一程度時(shí)，就有能力來(lái)解離中性氣體原子，能產(chǎn)生高密度等離子體的方法有很多種，在此我們簡(jiǎn)單的介紹一些能產(chǎn)生高密度等離子體的方法。。定期的跟換泵油，然后一周用擦洗一下腔體， 最好在超過(guò)幾個(gè)小時(shí)， 或者是轉(zhuǎn)班后，在用的時(shí)候， 先空洗一下！。
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