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等離子清洗在引線鍵合工藝中的好處(1)低溫、高效工藝(2)干洗、寬式清洗(3) 徹底清洗，電容耦合等離子體和電感耦合等離子體無殘留(4) 可以進(jìn)行過程控制(5) 運(yùn)營成本低(6) 環(huán)保技術(shù)，對操作者身體無害，環(huán)保本文來源：/newsdetail-14142303.html。隨著航空工業(yè)的發(fā)展，等離子清洗對航空產(chǎn)品的適用性也逐漸成熟。為了進(jìn)一步保證產(chǎn)品的清洗效果，有必要開展替代傳統(tǒng)溶劑清洗工藝的先進(jìn)清洗技術(shù)的研究。

經(jīng)過等離子體轟擊，電容耦合等離子體和電感耦合等離子體增強(qiáng)了資料的外表微觀活性，涂層效果得到明顯改善。這些資料經(jīng)過等離子體技術(shù)進(jìn)行外表處理。 當(dāng)真空等離子處理機(jī)對物體進(jìn)行外表處理時，它只效果于資料的外表層，不影響身體的原始性能，乃至不影響外表的漂亮(等離子體外表處理后的“凹坑”外表只能在顯微鏡下看到)。真空等離子體處理器加工資料時，效果時刻短，較快速度可達(dá)300米/分鐘以上。

等離子去膠的優(yōu)點(diǎn)是去膠操作簡單、去膠效率高、表面干凈光潔、無劃痕、成本低、環(huán)保。 電介質(zhì)等離子體刻蝕設(shè)備一般使用電容耦合等離子體平行板反應(yīng)器。在平行電極反應(yīng)器中，等離子體清洗儀基片反應(yīng)離子刻蝕腔體采用了陰極面積小，陽極面積大的不對稱設(shè)計(jì)，被刻蝕物是被置于面積較小的電極上。

電容耦合等離子體和電感耦合等離子體

PET薄膜材料因具有較好的抗疲勞性、強(qiáng)韌性、高熔點(diǎn)、優(yōu)異的隔離性能、耐溶劑性能以及出色的抗褶皺性能，在包裝、防腐涂層、電容器制備、磁帶甚至醫(yī)藥衛(wèi)生等多種技術(shù)領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。然而，由于PET薄膜材料表面自由能低，其潤濕性、可粘接性以及可印刷性等加工性能較差，這對PET薄膜實(shí)際生產(chǎn)中的應(yīng)用有很大的限制。

此外，過孔越小，寄生電容本身越小，越適合高速電路。但是，減小孔的尺寸也會增加成本，而且過孔的尺寸不能無限減小，需要鉆孔。鉆孔和電鍍等工藝技術(shù)的局限性：孔越小，鉆孔時間越長，越容易偏離中心。如果孔的深度超過孔直徑的 6 倍，我們不保證孔壁會均勻鍍銅。例如，如果一個典型的6層PCB板的厚度為50Mil（通孔深度），在正常情況下，PCB制造商可以提供的孔徑只能達(dá)到8Mil。

射頻等離子體清洗后，晶片與基片緊密結(jié)合，大大降（低）氣泡形成，大大提高散熱和發(fā)光率。然而，整個發(fā)光二極管行業(yè)包裝中使用的真空等離子清洗機(jī)數(shù)量相對較多，基本上是在線的。原因是成本相同，在線等離子清洗機(jī)生產(chǎn)能力大，效率高，性價(jià)比高。但從整個行業(yè)的發(fā)展趨勢來看，在線等離子清洗機(jī)是一個大趨勢。但是，在線等離子清洗機(jī)可以與全自動生產(chǎn)線連接，實(shí)現(xiàn)全自動運(yùn)線下等離子清洗機(jī)則需要人工上下料。真空等離子體清洗機(jī)。

半導(dǎo)體材料等離子刻蝕機(jī)支持直徑75mm至300mm的圓形或方形晶片/基片的自動處理和處理。另外，可以根據(jù)晶片的厚度，有或無載體的薄片處理。等離子室設(shè)計(jì)具有極好的蝕刻均勻性和工藝重復(fù)性。使用等離子刻蝕機(jī)表面處理主要包括各種蝕刻，灰化，除塵等工藝過程。其他等離子體處理包括去污、表面粗糙化、增加潮濕、增強(qiáng)粘合和粘合強(qiáng)度、抗光蝕劑/聚合物剝離、介質(zhì)腐蝕、晶片凸起、有機(jī)物去除和晶片脫模。

電容耦合等離子體和電感耦合等離子體

采用特別設(shè)計(jì)的熔點(diǎn)為183℃、直徑30mil(0.75mm)的焊料球62/36/2Sn/Pb/Ag或63/37/Sn/Pb，等離子體清洗儀基片用普通回流焊爐進(jìn)行回流焊，高溫加工溫度不能超過230℃。然后用CFC無機(jī)清洗劑對基片進(jìn)行離心清洗，以去除殘余的焊料和纖維顆粒，隨后進(jìn)行打標(biāo)、分離、檢查、測試和包裝。以上就是引線鍵合PBGA的封裝工藝。

處于高速運(yùn)動狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)（自由基）；離子化的原子、分子；分子解離反應(yīng)過程中生成的紫外線；未反應(yīng)的分子、原子等，電容耦合等離子體和電感耦合等離子體但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。 如何用人工方法制得等離子體 除了在自己已存在的等離子體以外，用人工方法在一定范圍內(nèi)也可以制得等離子體。最早是在1927年，當(dāng)水銀蒸氣在高壓電場中的放電時由科研人員發(fā)現(xiàn)等離子體。