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因而，在硅電池表層中，少量載流子的壽命極低，表層吸收短波光子所發(fā)生的光生載流子對電池的光電流輸出奉獻(xiàn)甚微，因而，該表層稱為“死層”?！八缹印钡拇嬖谑遣豢杀苊獾?，可是能夠使用一些方法來下降“死層”的影響。低溫等離子體的吹掃能夠使外表磷原子分布更加均勻，促進(jìn)磷原子的正確落位，然后下降了電池片外表的死層影響。低溫等離子體處理的一個(gè)明顯特點(diǎn)是對工藝參數(shù)進(jìn)行操控，使其具有良好的可靠性和重現(xiàn)性，特別是在工業(yè)出產(chǎn)中。
2010年，中國科學(xué)院物理研究所張光宇發(fā)表了以氫氣為主要?dú)怏w蝕刻單層和雙層石墨烯的文章。論文指出，射頻頻率的功率是一個(gè)重要參數(shù)，如果太大，很容易在石墨烯上刻蝕出深槽，形成大量缺陷。更強(qiáng)的等離子蝕刻導(dǎo)致更寬的溝槽和更深的孔。如果氫等離子體功率過高或過長，石墨烯表面的斷裂鍵會進(jìn)一步受到攻擊并繼續(xù)變寬，形成深峽谷，同時(shí)攻擊其他部分，石墨烯是深六邊形，形成氣孔。
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今天，廣東等離子式除膠渣機(jī)視頻大全許多制造商使用等離子技術(shù)來處理這些基板。等離子沖擊提高了材料表面的微觀活性，可以顯著（明顯）提高涂層效果。實(shí)驗(yàn)表明，需要選擇不同的工藝參數(shù)來在等離子清洗機(jī)中處理不同的材料，以達(dá)到更好的活化（化學(xué)）效果（結(jié)果）。。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，半導(dǎo)體制造過程中對工藝技術(shù)的需求，特別是對半導(dǎo)體晶圓表面質(zhì)量的要求越來越高，晶圓清洗質(zhì)量對器件性能產(chǎn)生嚴(yán)重影響。
