等離子清洗機不發(fā)光不（啟）輝光的可能原因及其解決辦法輝光放電是放電等離子體中最常見的一種放電形式，同時輝光放電也是放電形式中放電最穩(wěn)定的放電形式。等離子清洗機是在低氣壓下，反應氣體在射頻功率的激發(fā)下，產(chǎn)生電離并形成等離子體，等離子體是由帶電的電子和離子組成，反應腔體中的氣體在電子的撞擊下，除了轉(zhuǎn)變成離子外，還能吸收能量并形成大量的活性基團（Radicals）。在使用等離子清洗機的過程中，客戶可能會碰到設備不發(fā)光，或者無法啟輝的情況出現(xiàn)。下面就為大家提供一些建議，在碰到等離子清洗機不發(fā)光時的自檢思路與解決方法。
等離子清洗機無法起輝原因和處理措施：
（1）射頻電源故障，檢查射頻源電源功率輸出是否正常。
（2）反應氣體進氣量小，檢查氣體流量計是否正常。若正常，則加大進氣量進行試驗。
（3）腔體極板清潔度不夠，用萬用表測量腔體上下極板的對地電阻，正常值應在數(shù)十兆歐以上；若異常，則清潔腔體極板。
（4）匹配偏差太大，可以通過自動匹配進行調(diào)節(jié)。如不能進行自動調(diào)節(jié)，則可能是電機卡住，匹配電容變形，或者聯(lián)軸器松動，需做故障相應維修。
（5）真空度太差，檢查腔體真空度是否正常。
等離子清洗機輝光不穩(wěn)
（1）電源電流不穩(wěn)，測量電源供電是否穩(wěn)定
（2）真空室壓力不穩(wěn)定，檢查腔體真空系統(tǒng)漏率是否正常，檢查腔體進氣量是否正常。
（3）電纜故障，檢查電纜接觸是否良好。等離子清洗機不發(fā)光不（啟）輝光的可能原因及其解決辦法002246542465424654