在(PCB)印制電路板特別是高密度互連(HDI)板的制作中,需要進(jìn)行孔金屬化過程,使層與層之間通過金屬化的孔實(shí)現(xiàn)電氣導(dǎo)通。激光孔或者機(jī)械孔因?yàn)樵阢@孔過程中存在著局部高溫,使得在鉆孔后往往有殘留的膠狀物質(zhì)附在孔內(nèi)。為防止后續(xù)金屬化過程出現(xiàn)質(zhì)量問題,金屬化過程之前必須將其除去。目前除鉆污過程主要有高錳酸鉀法等濕工序,由于藥液進(jìn)入孔內(nèi)有難度,其除鉆污效果具有局限性。plasma等離子清洗作為一種干工序很好了解決了這個(gè)難題。plasma等離子清洗機(jī)的工作原理
等離子體又稱物質(zhì)的第四態(tài),它是一種整體呈電中性的電離體。等離子氣體的生成必須具有以下幾個(gè)條件:具有一定的真空度(26.66~66.66)Pa;在保持一定真空度下通入所選氣體;開啟射頻電源,向真空器內(nèi)電極施加高壓電場,使氣體在兩電極之間電離,放出輝光,形成等離子體。
在(PCB)印制電路板中等離子清洗過程主要分為三個(gè)階段。第一階段為產(chǎn)生的含自由基、電子、分子等離子體,形成的氣相物質(zhì)被吸附在鉆污固體表面的過程;第二階段為被吸附的基團(tuán)與鉆污固體表面分子反應(yīng)生成分子產(chǎn)物以及隨后所生成的分子產(chǎn)物解析形成氣相的反應(yīng)過程;第三階段為與等離子體反應(yīng)后的反應(yīng)殘余物的脫離過程。
plasma等離子清洗在(PCB)印制電路板清洗的作用
plasma等離子清洗去除殘留污染物
等離子清洗用于去除(PCB)印制電路板制作一些工序中的非金屬殘留物,是一種很好的選擇。在圖形轉(zhuǎn)移工序中,貼壓干膜后的印制電路板經(jīng)曝光之后,需要進(jìn)行顯影蝕刻處理,去掉不需要干膜保護(hù)的銅區(qū)域,其過程為利用顯影液溶解掉未被曝光的干膜,以便在隨后的蝕刻過程蝕刻掉該未曝光干膜覆蓋的銅面。此顯影過程中,往往由于顯影缸噴管壓力不均等原因使得局部未曝光的干膜未能被全部溶解掉,形成殘留物。這種情況在精細(xì)線路的制作中更容易發(fā)生,最終在隨后的蝕刻后造成短路。采用等離子清洗機(jī)可以很好的將干膜殘留物去掉。
plasma等離子清洗去除孔內(nèi)鉆污
等離子進(jìn)行孔清洗是在(PCB)印制電路板中的首要應(yīng)用,通常采用氧氣和四氟化碳的混合氣體作為氣源,利用等離子體蝕刻撓性板中板盲孔內(nèi)部鉆污。24270