等離子表面處理技術(shù)提高半導體等行業(yè)材料表面的性能隨著電子等工業(yè)的快速發(fā)展，等離子技術(shù)用于活化蝕刻和清洗，以提高膠粘劑粘結(jié)性能等。目前，等離子體清洗技術(shù)已廣泛應用于半導體及光電行業(yè)，主要應用領(lǐng)域包括集成電路、半導體、醫(yī)用等低溫等離子表面處理設(shè)備，主要由等離子發(fā)生器、輸氣管道及低溫等離子噴嘴組成。
當電弧放電時，等離子發(fā)生器產(chǎn)生高壓和高頻動能，并由此產(chǎn)生等離子體，這種等離子技術(shù)在噴嘴中被激發(fā)并被控制，通過噴嘴將氣體，如空氣，噴射到材料表面。等離子技術(shù)與材料的表面接觸時，會發(fā)生物理變化和化學反應。經(jīng)處理的表面已形成高密度化學交聯(lián)層，或因甲基、羧基的引入而具有促進多種建筑涂料粘合的功效，并在涂料粘合及應用中得到推廣。
利用等離子技術(shù)對表面進行處理，還可以得到非常薄的韌性涂層，使表面具有良好的粘接、涂覆和印刷性能。無需其它工業(yè)輔助設(shè)備，增加功能組分可提高粘合力。等離子表面處理技術(shù)提高半導體等行業(yè)材料表面的性能00224733