芯片凸點(diǎn)電鍍中的等離子清洗機(jī)的應(yīng)用在凸點(diǎn)制備過程中,為了在電鍍之前去除晶圓表面的有機(jī)沾污,保證鍍層的結(jié)合力和外觀質(zhì)量,大量使用等離子清洗技術(shù),以取代部分化學(xué)活化,這在一定程度上減少了化學(xué)廢液的產(chǎn)生。等離子清洗是利用等離子體轟擊物體表面,以達(dá)到去除污物的目的。在凸點(diǎn)電鍍銅、金等工序之前,都會(huì)用到這種環(huán)保的前處理技術(shù)。
因?yàn)?a href="http://d8d.com.cn/" target="_blank">plasma本身在大氣壓下非常不穩(wěn)定,有機(jī)纖維表面改性材料有哪些其最初的經(jīng)驗(yàn)顯示,它難以在大氣壓下運(yùn)用,因此plasma常用于真空表面處理。目前, 大氣plasma將空氣或其它的工藝氣體引入噴槍,同時(shí)引入高頻高壓電流,對氣體施加能量。所需的plasma從噴槍前端的噴嘴噴出,產(chǎn)生電性中性plasma,不僅可以用來處理塑料,還可以用來處理金屬、玻璃等材料。
低溫等離子體發(fā)生器清洗技術(shù)在復(fù)合材料制造業(yè)中的應(yīng)用,表面改性會(huì)議無論是提高復(fù)合材料表面性能參數(shù),還是改善纖維表面樹脂的潤濕性,或去除零件表面的污染層,提高涂層性能參數(shù),或提高多個(gè)零件之間的結(jié)合性能參數(shù),其可靠性主要取決于原材料表面層的理化性能參數(shù)的低溫等離子體,去除薄弱的表面層,或增加粗糙度和化學(xué)活性,從而提高兩個(gè)表面層之間的滲透率和結(jié)合性能參數(shù)。
等離子清洗機(jī)/等離子處理機(jī)/等離子處理設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子處理和等離子表面處理等場合。通過其等離子表面處理,表面改性會(huì)議能夠改善材料表面的潤濕能力,使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作,增強(qiáng)粘合力、鍵合力,同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂。
表面改性會(huì)議
中頻40KHz等離子清洗機(jī)主要發(fā)生物理反應(yīng),適合表面需要刻蝕或者粗化的產(chǎn)品,對有機(jī)物的去除效果就不那么明顯了。微波2.45GHz等離子清洗與低頻或射頻放電產(chǎn)生的等離子體相比,它的特點(diǎn)是沒有正負(fù)電極,自偏壓很小,不會(huì)產(chǎn)生放電污染,有效防止靜電損傷;等離子密度高,生產(chǎn)效率高;離子運(yùn)動(dòng)沖擊小,不會(huì)產(chǎn)生UV(紫外線)輻射。微波等離子在一些工藝中具有不可替代性,例如一些電敏感器件制程中的去膠和清洗。
一、陶瓷包裝由于陶瓷封裝一般采用金屬膏體印刷電路板作為蓋板的密封區(qū),所以在印刷前,金屬膏體可以通過等離子清洗機(jī)進(jìn)行處理,可以有效提高涂層的質(zhì)量。二、銅支架清洗半導(dǎo)體封裝多采用銅支架,然而銅作為金屬易氧化,表面存在肉眼看不見的有機(jī)污染物。如果不對這些污染物進(jìn)行處理,包裝效果就會(huì)受到影響。因此,在半導(dǎo)體封裝前要用等離子清洗機(jī)對銅支架進(jìn)行清洗,這將大大提高半導(dǎo)體封裝的成品率。
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在AppliedPhysicsLetter(2010,96,131504);Carbon(2010,48,939-948);TheJournalofPhysicalChemistryC(2009,113,7659-7665);Diamond&RelatedMaterials(inpress)上發(fā)表了部分研究結(jié)果;還應(yīng)邀在會(huì)議上作了兩次口頭報(bào)告。
表面改性會(huì)議
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