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等離子體加工設(shè)備能在低壓環(huán)境(1- Pa)或常壓條件下進(jìn)行,如何提高電鍍的附著力問(wèn)題低壓等離子體設(shè)備處理效果更均勻,靈活性更高。
如何提高銀漿附著力
硅材料(蝕刻設(shè)備用)(6英寸、8英寸、12英寸)和單晶硅材料(用于晶圓制造)(13-19英寸)。蝕刻是去除晶片表面材料以滿足集成電路設(shè)計(jì)要求的過(guò)程。目前,干法刻蝕工藝在芯片制造工藝中得到廣泛應(yīng)用。蝕刻機(jī)銷售額約占晶圓制造工藝的24%,是晶圓制造的重要環(huán)節(jié)。公司產(chǎn)品以蝕刻用單晶硅材料為主,用于用蝕刻機(jī)加工硅電極(蝕刻用單晶硅零件)。
這里,NC 是等離子體態(tài)的相對(duì)密度 (CM-3),V 是激發(fā)工作頻率 (Hz)。等離子體激發(fā)具有三種常見的工作頻率:超聲波等離子體、13.56 MHz 等離子體和 2.45 GHz 微波等離子體。所有類型的等離子體形成相同的自偏壓。超聲波等離子的自偏壓在 0V左右,低溫寬帶等離子清洗機(jī)的射頻等離子的自偏壓很低,微波等離子的自偏壓很低,只有幾十伏。 , 三種等離子體體的形成機(jī)理不同。
(B)上下料傳輸系統(tǒng)通過(guò)壓輪及皮帶傳輸將料片傳輸?shù)轿锪辖粨Q平臺(tái)的高臺(tái)上,通過(guò)撥料系統(tǒng)對(duì)其進(jìn)行定位?! ?C)接好料片的平臺(tái)交換到等離子反應(yīng)腔室下方,通過(guò)改善系統(tǒng)將真空腔室閉合抽對(duì)其進(jìn)行等離子清洗。當(dāng)高臺(tái)傳輸?shù)角逑次粫r(shí),低臺(tái)傳輸?shù)浇恿衔恢脤?duì)其進(jìn)行第二層的接料。高臺(tái)清洗結(jié)束后與低臺(tái)交換位置,低臺(tái)對(duì)其進(jìn)行等離子清洗,高臺(tái)到接料位置對(duì)其進(jìn)行回料。
普通吸嘴頂部有裝置孔,可根據(jù)需要制作加工裝置治具,在流水線上任意調(diào)整。大氣噴射等離子清洗機(jī)(在線式),即根據(jù)用戶的產(chǎn)品生產(chǎn)加工目標(biāo)、產(chǎn)能、生產(chǎn)線、工藝特點(diǎn)設(shè)計(jì),大部分情況下可以直接在流水線上組裝。用戶要求。此外,根據(jù)等離子發(fā)生器支持的噴嘴數(shù)量,常壓等離子設(shè)備可分為單噴嘴常壓噴射等離子清洗機(jī)和多噴嘴常壓噴射等離子清洗機(jī)。
如何提高電鍍的附著力問(wèn)題