含VOCS的氣體從吸收塔底部進(jìn)入塔內(nèi)，pet表面處理附著力在上升過程中從塔頂與吸收塔逆流接觸，精制氣體從塔頂排出。吸收了VOCS的吸收塔經(jīng)過換熱器后進(jìn)入汽提塔上部，在高于吸收溫度或低于吸收壓力的條件下解吸。解吸的吸收劑在溶劑冷凝器中冷凝并返回吸收塔。解吸出來的VOCS氣體通過冷凝器和氣液分離器，作為純VOCS氣體離開汽提塔，重新利用。該工藝適用于VOCS濃度高、溫度低的氣體凈化。否則，需要進(jìn)行相應(yīng)的工藝調(diào)整。

簡單來說，pet表面印刷附著力檢測自動(dòng)清洗臺(tái)是多塊同時(shí)清洗，其優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備成熟，生產(chǎn)率高，而單件清洗設(shè)備采用分片清洗，其優(yōu)點(diǎn)是清洗精度高，清洗反面、斜面、邊緣，避免背面、斜面、邊緣交叉污染。45nm之前，自動(dòng)清潔臺(tái)可滿足清潔要求，目前仍在使用；對(duì)于45nm以下的清洗，則依靠單晶清洗設(shè)備來達(dá)到清洗精度的要求。單晶圓低溫等離子清洗是當(dāng)今可控清洗設(shè)備的主流產(chǎn)品，其工藝連接點(diǎn)不斷減少。轉(zhuǎn)換失敗。

因此，pet表面印刷附著力檢測它被廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)科學(xué)、微流體科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)科學(xué)、微流體工程等領(lǐng)域。等離子清洗機(jī)技術(shù)始于20世紀(jì)初，隨著高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，其技術(shù)應(yīng)用也越來越普遍。它目前在許多高科技領(lǐng)域中占有重要的技術(shù)地位。等離子清洗技術(shù)對(duì)經(jīng)濟(jì)和人類文明產(chǎn)生重大影響，尤其是半導(dǎo)體和光電子行業(yè)。

在等離子體化學(xué)反應(yīng)中，pet表面印刷附著力檢測起化學(xué)作用的粒子主要是陽離子和自由基粒子。自由基在化學(xué)反應(yīng)過程中的能量轉(zhuǎn)移活化（化學(xué)）作用，被激發(fā)的自由基具有更高的能量，與表面分子結(jié)合時(shí)，更容易形成新的自由基。新形成的自由基也處于不穩(wěn)定的高能??狀態(tài)，可能會(huì)引起分解反應(yīng)，生成新的自由基，同時(shí)變成小分子。該反應(yīng)過程繼續(xù)進(jìn)行并且可以分解成水和二氧化碳。一個(gè)簡單的分子。

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根據(jù)等離子體種類的不同，等離子體清洗可分為化學(xué)清洗、物理清洗和物理化學(xué)清洗。等離子體清洗是一種高精度的干洗方法。其原理是在真空狀態(tài)下通過射頻源產(chǎn)生的高壓交變電場將氧、氬、氫等工藝氣體激發(fā)成高反應(yīng)性或高能量的離子，通過化學(xué)反應(yīng)或物理作用對(duì)工件表面進(jìn)行處理，實(shí)現(xiàn)分離；亞水平污染去除（一般厚度3～30nm)，以提高表面活性。對(duì)應(yīng)不同的污染物，應(yīng)采用不同的清洗工藝，以達(dá)到最佳的清洗效果。

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