對(duì)于高溫等離子體,這是一項(xiàng)很重要的輻射損失。  回旋輻射或稱回旋加速器輻射,附著力最強(qiáng)的膠帶品牌是是帶電粒子(主要是電子)繞磁力線作回旋運(yùn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的輻射。  非相對(duì)論性電子的輻射稱為回旋輻射,它的單色性強(qiáng),在電子回旋頻率處以譜線形式出現(xiàn),電子能量較高時(shí),除基頻外,還以諧頻發(fā)出輻射。  這種輻射接近各向同性,功率較弱。

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活性組分Pd和La2O3的建議負(fù)載量分別為0.01%和5%,附著力最強(qiáng)的膠帶品牌是即催化劑為0.01%Pd-5%La2O3/Y-Al2O3。。

四氟化碳C4F是1種無(wú)色,附著力最高的硅樹(shù)脂無(wú)味的汽體,無(wú)毒性、難燃,但在濃度較高的時(shí)有著麻痹效用,所以在工業(yè)應(yīng)用時(shí)儲(chǔ)存的容器為專用高壓氣瓶,所使用的減壓閥也為專用減壓閥。C4F電離后,會(huì)產(chǎn)生1種含有氫氟酸成分的蝕刻氣相等離子體,能在各種有機(jī)表面上完成蝕刻和去除物質(zhì),在晶圓制造、線路板制造、太陽(yáng)能電池板制造等行業(yè)廣泛應(yīng)用。

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2) 蒸發(fā)。即固體表面接受來(lái)自等離子體的能量而熔化、蒸發(fā)。3) 濺射。當(dāng)離子或中性粒子入射到表面時(shí),它的一部分能量傳給少數(shù)靶原子,其中有些在點(diǎn)陣達(dá)到熱平衡之前發(fā)射出去,這就是濺射。濺射是閾值性的,即當(dāng)入射粒子的能量大于某一閾值(通常為5~50eV)時(shí),才出現(xiàn)濺射。4) 化學(xué)濺射。發(fā)生在等離子體裝置表面的化學(xué)過(guò)程。主要是由于表面催化作用引起的。當(dāng)粒子入射到表面后,在表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)生成揮發(fā)性產(chǎn)物而釋放。

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