這是因?yàn)樵诘入x子體等離子體條件下,玻璃附著力促進(jìn)劑 添加量CO2 可以與等離子體產(chǎn)生的高能電子 CO2 + E * & RARR; CO + O 發(fā)生分裂反應(yīng),產(chǎn)生活性氧。 CO2濃度越高,體系中的活性氧越多,C2H6的CH和CC鍵在活性氧的作用下越脆弱。因此,C2H6 的轉(zhuǎn)化率隨著 CO2 濃度的增加而增加。隨著 CO2 添加量的增加,C2H2 和 C2H4 的產(chǎn)率會出現(xiàn)峰形變化。
對于等離子體等離子體作用下CO2對CH的氧化,附著力促進(jìn)劑環(huán)保嗎也有合適的CO2添加量。結(jié)果表明,當(dāng)原料氣中CO2濃度從15%增加到85%時(shí),CH4轉(zhuǎn)化率逐漸增加,而CO2轉(zhuǎn)化率呈峰狀變化,在CO2濃度為50%~65%時(shí)達(dá)到24%的峰值。
當(dāng)Pd負(fù)載量由0.01%增至1%時(shí),附著力促進(jìn)劑環(huán)保嗎C2H4在C2烴產(chǎn)物中摩爾分?jǐn)?shù)逐漸下降,而C2H6在C2烴產(chǎn)物中摩爾分?jǐn)?shù)逐漸上升,說明進(jìn)一步增加La2O3/Y-Al2O3催化劑中的Pd的添加量,并不能增加C2H4在C2烴產(chǎn)物中的摩爾分?jǐn)?shù),反而促使C2H4向C2H6 轉(zhuǎn)化,提高C2H6在C2烴產(chǎn)物中的摩爾分?jǐn)?shù)。
等離子體室可以配置6“或8”電源電極,玻璃附著力促進(jìn)劑 添加量以適應(yīng)各種晶圓尺寸,零件,IC封裝和其他元件。
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等離子清洗機(jī)省去了濕法化學(xué)處理工藝中所不可缺少的烘干,廢水處理等工藝;若與其他干式工藝如放射線處理、電子束處理、電暈處理等相比,等離子清洗機(jī)獨(dú)特之處在于它對材料的作用只發(fā)生在其表面幾十至數(shù)千埃厚度范圍內(nèi),既能改變材料表面性質(zhì)又不改變本體性質(zhì)。
例如氧氣、氮?dú)狻⒓淄?、水蒸氣等混合氣體大分子,在高頻電場的低壓狀態(tài)下,在光放電的條件下,可分解為加速的自由基和大分子,這樣粒子就可以分解成電子和自由基以及帶有正電荷和負(fù)電荷的大分子。帶電粒子和電子在電場的加速作用下與周圍的大分子或自由基發(fā)生碰撞,從而獲得高能量。所以分子和原子激發(fā)電子,它們處于刺激態(tài)和離子態(tài),化學(xué)物質(zhì)以等離子態(tài)存在。
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等離子清洗機(jī)目前廣泛應(yīng)用在電子,通信,汽車,紡織,生物醫(yī)藥等方面。
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