(3)電極和接地裝置在真空室中施加高頻電壓，附著力和自交聯(lián)結(jié)構(gòu)使蒸氣體擊穿，通過輝光放電產(chǎn)生電離和等離子體。將真空室產(chǎn)生的等離子體全部覆蓋，開始對加工工件進行清洗操作。通常清洗過程持續(xù)數(shù)十秒到分鐘。清洗完畢后，將蒸汽體泵入真空室，切斷高頻電壓，將蒸汽體的污物和蒸發(fā)排出。

通過該裝置在密封容器內(nèi)設(shè)置兩個電極形成電場，電極上的附著力和電極電位通過真空泵實現(xiàn)真空。隨著氣體越來越稀薄，分子結(jié)構(gòu)與分子結(jié)構(gòu)或離子自由運動的距離也越來越遠。它們在電場作用下與等離子體碰撞形成等離子體。它的活性極高，能量轉(zhuǎn)換足以破壞幾乎所有離子鍵的大部分，在暴露的表層發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。當(dāng)處于真空狀態(tài)時，通過等離子體對工件表面層進行化學(xué)或物理處理，可以去除分子結(jié)構(gòu)水平（通常厚度為3-30納米）。

等離子體處理原理對一組電極在射頻電源上，附著力和自交聯(lián)結(jié)構(gòu)形成高頻交變電場，在交變電場的發(fā)酵下，電極之間形成氣體區(qū)域，形成等離子體，而等離子體的活性則是對表面進行物理轟擊和化學(xué)反應(yīng)的雙重作用，使表面被清洗的物質(zhì)變成顆粒和氣態(tài)物質(zhì)，經(jīng)過真空放電，從而達到表面處理的目的。等離子體通常被稱為物質(zhì)的第四態(tài)。前三種狀態(tài)是固體、液體和氣體。它們相對常見，存在于我們周圍。等離子體只存在于地球上的特定環(huán)境中，比如閃電和極光。

等離子體處理通常是導(dǎo)致表面分子結(jié)構(gòu)發(fā)生變化或表面原子被替換的等離子體反應(yīng)過程。即使在氧氣或氮氣等惰性氣氛中，電極上的附著力和電極電位等離子體處理也可以在低溫下產(chǎn)生高反應(yīng)性基團。在這個過程中，等離子體也會產(chǎn)生高能紫外光。它與產(chǎn)生的快離子和電子一起，可以破壞聚合物鍵并產(chǎn)生表面化學(xué)物質(zhì)。它提供必要的能量。這種化學(xué)過程只涉及材料表面的一個小原子層，聚合物的整體特性可能保持可變形。

附著力和自交聯(lián)結(jié)構(gòu)

與濕法清洗相比較，具有較大的優(yōu)勢：1.清洗對象的廣泛性，不受溶劑和材料選取的限制。2.清洗方向的包容性。被清洗元件置于等離子體內(nèi)，等離子體可以接觸到任 意的元件表面，因而可以清洗具有復(fù)雜結(jié)構(gòu)的元件。3.清洗產(chǎn)物的無害性。反應(yīng)生成物為氣體，經(jīng)過簡單處理后即可直接排放。4.操作流程簡單、安全可靠。等離子體清洗后不需要烘干處理，工藝流程簡 單，便于自動化實現(xiàn)。

DI DBD等離子清洗機的電極結(jié)構(gòu)較為傳統(tǒng)和通用，如圖1所示，常用于材料和臭氧發(fā)生器的表面改性。其結(jié)構(gòu)簡單，金屬電極可通過放電提高傳熱率。第二種DBD等離子清洗機的電極結(jié)構(gòu)是放電發(fā)生在兩個介電層之間。這避免了等離子體和金屬電極之間的直接接觸。同時，與單介質(zhì)層放電結(jié)構(gòu)相比，等離子體更均勻，放電絲更細。這種配置適用于電離腐蝕性氣體和產(chǎn)生高純度等離子體。圖 3 顯示了第三個 DBD 等離子清洗機的電極結(jié)構(gòu)。

假設(shè)等離子體一開始是電中性的，離子比電子的質(zhì)量大得多，電子的速度快得多，即使它們有相同的動能，離子的運動速度比電子慢得多。因此,開始時,電子的數(shù)量達到絕緣子表面的離子的數(shù)量多,除了一些參與重組,電子將盈余,絕緣子表面的顯示了一個負電位對等離子體。

等離子體的直流電位以及離子轟擊能量約為20～40V。與電容耦合等離子體相比較;電感耦合等離子體的離子通量和離子能 量可以得到更好的獨立控制。為了更好控制離子轟擊能量，一般會將另一個射頻電源容性耦合在放襯底的晶圓上。線圈在感性放電的過程中會和容性驅(qū)動的襯底臺產(chǎn)生容性耦合的成分，也就是在產(chǎn)生等離子體的過程中,外加電源會產(chǎn)生電壓差。這將不利于等離子體密度和能量的獨立控制。

附著力和自交聯(lián)結(jié)構(gòu)

血漿均勻性是臨床應(yīng)用中需要關(guān)注的問題。此外，附著力和自交聯(lián)結(jié)構(gòu)當(dāng)?shù)入x子體溫度高于正常體溫6℃以上，即高于43℃時，膜分子的動能可能會超過超分子聚合的水合極限能，從而發(fā)生結(jié)構(gòu)退化。因此，在熱作用下細胞膜的動能損傷決定了細胞壞死的速率?？傊?，臨床設(shè)備子醫(yī)學(xué)所涉及的生物和化學(xué)基礎(chǔ)是非常復(fù)雜的。除紫外線、帶電粒子、跨膜電位、氣體溫度外，在實際的臨床應(yīng)用中還需要充分考慮和認真使用。。