整個(gè)過程依賴于等離子體在電磁場(chǎng)空間運(yùn)動(dòng),轟擊處理對(duì)象的表面,從而達(dá)到表面處理、清洗和蝕刻效果(清洗過程在某種程度上是一個(gè)輕微的腐蝕過程),清洗后,排氣蒸發(fā)污垢和清潔氣體,同時(shí)向真空室輸送空氣，表面改性技術(shù)的研究進(jìn)展使空氣恢復(fù)正常大氣壓。在低壓等離子體技術(shù)中，真空中的氣體通過提供能量而被激發(fā)。它產(chǎn)生高能離子和電子，以及其他反應(yīng)粒子，形成等離子體。這對(duì)于改變表面是非常有效的。

等離子體清洗優(yōu)勢(shì)明顯，表面改性的方法的優(yōu)缺點(diǎn)具有操作簡(jiǎn)單、精密可控、無需加熱處理、整個(gè)工藝過程無污染以及安全可靠等特點(diǎn)，在表面處理領(lǐng)域中獲得了大規(guī)模的推廣應(yīng)用。當(dāng)然，我們也必須承認(rèn)，大多數(shù)新鮮事物在剛面世的時(shí)候，都是不完美的。它之所以出現(xiàn)，不過是剛好比前一個(gè)完美罷了；但隨著新事物的推陳出現(xiàn)，永遠(yuǎn)有后面的事物取代先前的。

由于等離子清洗機(jī)是一種“干式”清洗工藝，表面改性技術(shù)的研究進(jìn)展加工后的材料可以立即進(jìn)入下一道加工工序。因此，等離子清洗機(jī)是一種穩(wěn)定高效的工藝。等離子體的高能量分解材料表面的化學(xué)物質(zhì)和有機(jī)污染物，有效去除可能干擾粘附的雜質(zhì)，使材料表面達(dá)到所需條件。通過后續(xù)的涂裝工藝。

等離子體表面處理技術(shù)在糊盒技術(shù)中的應(yīng)用直接產(chǎn)生的效益是:一是產(chǎn)品質(zhì)量更穩(wěn)定，表面改性的方法的優(yōu)缺點(diǎn)不會(huì)開膠;可以降低糊盒的成本。2、有條件可直接使用普通膠水，節(jié)約成本可達(dá)30%;直接消除紙粉、紙毛對(duì)環(huán)境和設(shè)備的影響;四、提高工作效率;。低溫等離子體技術(shù)在環(huán)境治理中的應(yīng)用:隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，環(huán)境污染問題日益突出。各種形式的環(huán)境污染層出不窮，嚴(yán)重危害著人類的健康和生存。環(huán)境治理是人類安全的迫切需要。

表面改性技術(shù)的研究進(jìn)展

采用等離子清洗機(jī)對(duì)芯片和封裝板進(jìn)行加工，不僅可以獲得超潔凈的焊接表面，而且可以大大提高焊接表面的活動(dòng)性，有效防止虛焊和減少空洞，提高邊緣高度和填充材料的夾雜性，降低不同材料之間因熱膨脹系數(shù)而形成的剪切力，提高產(chǎn)品的可靠性和提升(提升)壽命。等離子體表面清洗機(jī)在處理晶圓表面光刻膠時(shí)，可以去除表面的光刻膠和其他有機(jī)物。還可以通過等離子體活化和粗化對(duì)硅片表面進(jìn)行處理，有效地提高表面潤(rùn)濕性。

-plasma真空等離子體清洗機(jī) 一、設(shè)備名稱：等離子清洗機(jī)（低壓輝光放電等離子表面處理系統(tǒng)）二、設(shè)備型號(hào)： -PLASMA等離子體清洗機(jī)設(shè)備簡(jiǎn)介 系列低溫等離子表面處理設(shè)備由真空腔體及高頻等離子電源、抽真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、自動(dòng)控制系統(tǒng)等部分組成。

低溫等離子體物理與應(yīng)用是一個(gè)具有全球性影響的重要的科學(xué)與工程，對(duì)全世界的高科技工業(yè)發(fā)展及許多傳統(tǒng)工業(yè)的改造都有著直接的影響，二十一世紀(jì)初等離子體輔助加工會(huì)產(chǎn)生重要的突破，而這些突破對(duì)高科技產(chǎn)業(yè)的保護(hù)及提高其在市場(chǎng)中的地位將是極為重要的，例如近十年來，低溫等離子體的物理研究和技術(shù)應(yīng)用在很多方面有了突破性的進(jìn)展，最有代表性的是微電子工業(yè)等離子體的應(yīng)用。

尤其是在提高金剛石涂層和基體結(jié)和強(qiáng)度，大面積快速沉積金剛石涂層技術(shù)，產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)涂層金剛石薄膜設(shè)備系統(tǒng)等要害技術(shù)方面國(guó)外已取得突破性進(jìn)展，美國(guó)、瑞滇餿國(guó)已推出金剛石金屬切削工具供給市場(chǎng)，而我國(guó)該技術(shù)還沒有達(dá)到實(shí)用水平，急待開發(fā)并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。

表面改性技術(shù)的研究進(jìn)展

粘接性能與材料表面狀況密切相關(guān)，表面改性的方法的優(yōu)缺點(diǎn)通過表面處理提高粘接性能的研究從未停止過。近年來，等離子體在高分子材料表面改性方面取得了很大的進(jìn)展。冷等離子體作為低溫等離子體的一種，含有大量的活性粒子，如電子、離子、受激原子和分子。這些活性顆粒作用于高分子材料表面，對(duì)材料表面造成非常復(fù)雜的物理和化學(xué)變化，并可引起腐蝕、開裂、聚合等反應(yīng)。

等離子清洗主要是一種物理反應(yīng)，表面改性的方法的優(yōu)缺點(diǎn)沒有化學(xué)反應(yīng)，缺點(diǎn)是表面損傷較小，因?yàn)闆]有氧化物可以保持被清洗物體的化學(xué)純度。熱效應(yīng)大。這種材料選擇性低，腐蝕速度慢。使用化學(xué)反應(yīng)等離子體進(jìn)行清洗的優(yōu)點(diǎn)是清洗速度快，選擇性高，去除有機(jī)（有機(jī)）物質(zhì)更有效。缺點(diǎn)是表面提供氧化物。化學(xué)反應(yīng)的缺點(diǎn)比物理反應(yīng)更難克服。然而，兩種反應(yīng)機(jī)理對(duì)表面微觀形貌的影響存在很大差異。由于物理作用，表面在分子水平上變得粗糙，從而改變了表面鍵的性質(zhì)。