活性氣體與非活性氣體等離子體根據(jù)產(chǎn)生等離子體所用氣體的化學(xué)性質(zhì)，怎么讓漆面附著力更強可分為非活性氣體等離子體和活性氣體等離子體兩種。非活性氣體如氬(Ar)、氮氣(N2)、氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)、活性氣體與氧氣(O2)、氫氣(H2)等，不同類型氣體在清洗過程中的反應(yīng)機理不同，活性氣體等離子體具有更強的化學(xué)反應(yīng)活性。
活潑氣體和不活潑氣體等離子體根據(jù)產(chǎn)生等離子體時使用的氣體的化學(xué)性質(zhì)不同，怎么讓漆的附著力強可分為不活潑氣體等離子體和活潑氣體等離子體兩類，不活潑氣體如氬氣（Ar），氮氣（N2），氟化氮（NF3）四氟化碳（CF4）等，活潑氣體和氧氣（O2），氫氣（H2）等，不同類型的氣體在清洗過程中的反應(yīng)機理是不同的，活潑氣體的等離子體具有更強的化學(xué)反應(yīng)活性。
圖5 VDC2.1.2等離子體參數(shù)組成2.1.2.1氣體和流量電負(fù)性氣體是主要元素，怎么讓漆的附著力強在保持其他工藝參數(shù)不變的情況下，氣體的電負(fù)性由VDC來確定。負(fù)電負(fù)性氣體如O2、N2具有較高的負(fù)壓偏置VDC，而含有F、Cl、Br的氣體具有較高的負(fù)電性，這是因為VII族元素容易吸附自由電子。因子中含F(xiàn)、Cl、Br氣體的電子密度會大大降低。含有F的氣體比含有Cl的氣體電負(fù)性更強。SF6是一種典型的電負(fù)性氣體。
方程（3-27）（斷開 CH 鍵）很容易進行。
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3 Plasma 必須滿足約束條件等離子體清潔器中等離子體的存在具有空間和時間限制。如果電離氣體的空間尺度不滿足等離子體存在的空間極限，或者如果電離氣體存在的時間短于等離子體時間尺度的下限，則這種電離氣體是等離子體。通俗地說，等離子體是一種電離氣體，但電離氣體不一定是等離子體?？萍迹珳?zhǔn)到每一個小顆粒！用于等離子清洗機的電離氣體包括等離子氣體和普通電離氣體。。
快速運動過渡態(tài)的電子、中性原子、分子、激發(fā)過渡態(tài)的原子團（自由基）、電離的原子、分子、分子紫外光、解離反應(yīng)中產(chǎn)生的未反應(yīng)分子、原子等。物質(zhì)保持電中性作為一個整體。等離子體清潔機制主要依靠等離子體中活性粒子的“活化”來達到去除物體表面污垢的目的。從反應(yīng)機理來看，等離子清洗通常涉及以下幾個過程。
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2、高空閃電的形成：空氣中的這些帶電的等離子體（由于太陽光線的照射剝奪空氣分子的電子形成的等離子體、水蒸氣形成單的離子體等）與電離層等離子體放電形成的雷電現(xiàn)象。
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