等離子體的“活性”成分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子體清洗機(jī)就是利用這些活性成分的性質(zhì)對樣品表面進(jìn)行處理，油漆附著力促進(jìn)劑成分從而達(dá)到清洗目的。

等離子體是物質(zhì)的狀態(tài)，油漆附著力促進(jìn)劑成分也稱為物質(zhì)的第四狀態(tài)，不屬于一般固液氣體的三種狀態(tài)。當(dāng)向氣體施加足夠的能量以使其電離時，它就會變成等離子體狀態(tài)。穿過等離子體的等離子體清潔器的“活性”成分包括離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。從力學(xué)上看：等離子清洗裝置清洗時，工作氣體在電磁場作用下激發(fā)的等離子體與物體表面發(fā)生物理化學(xué)反應(yīng)。

等離子清洗機(jī)在沉積過程中的應(yīng)用可分為四個步驟。(1)電子與反應(yīng)氣發(fā)生電子碰撞反應(yīng)產(chǎn)生離子和自由基；(2)活性成分從等離子體向基底表面?zhèn)鬏敚?3)活性成分通過吸附作用或物化作用沉積到基底表面；(4)活性成分或反應(yīng)產(chǎn)物成為沉積膜的組成成分。高密等離子體化學(xué)氣相沉積過程中，油漆附著力促進(jìn)劑成分沉積與刻蝕經(jīng)常同時進(jìn)行。在此過程中，三個主要機(jī)制是：等離子體離子輔助沉積，氬離子濺射和濺射材料再沉積。

例如，油漆附著力促進(jìn)劑成分如果把帶正電荷的球體放在等離子體中，它會吸引等離子體中的電子，排斥這些離子，從而在球體周圍形成帶負(fù)電荷的球體&ldquo；電子云&rdquo；.真空等離子體清洗機(jī)中的等離子體具有振蕩特性：一般等離子體處于平衡狀態(tài)時，其密度分布在宏觀上是均勻的，而在微觀上則是有升有降，且不均勻，密度波動具有振蕩特性。

油漆附著力促進(jìn)劑成分

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當(dāng)一個電子（電荷為 1.6 x 10-19 庫侖）在電場中通過 1 伏的電位差時，得到以下能量。來自電場的電子為 W = 1eV，1eV = 1.6 × 10-19 庫侖 × 1 伏特 = 1.6022 × 10-19 焦耳，1eV 對應(yīng)的溫度為 11600K（開爾文；開爾文）。等離子體主要通過粒子間的碰撞相互傳遞能量，達(dá)到熱力學(xué)平衡，但不同類型粒子之間發(fā)生碰撞的概率不相等，所以能量傳遞不相等。

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（3）鏈傳遞反應(yīng)：H + C2H6 → C2H5 + H2(3-29)CH3 + C2H6 → C2H5 + CH4 (3-30)CH3 + e* → CH2 + H (3-31)CH2 + e* → CH + H (3-32)CH + e* → C + H(3-33)（4）鏈終止反應(yīng)：CH3 + H → CH4(3-34)CH2 + CH2 → C2H4 (3-35)CH3 + CH → C2H4(3-36)CH + CH → C2H2(3-37)低溫常壓下，純乙烷在等離子體作用下可發(fā)生脫氫反應(yīng)，生成乙炔、乙烯、 少量甲烷和積碳，但存在轉(zhuǎn)化率較低，反應(yīng)器壁有積碳形成等問題。

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