二、處理寬度?。狠敵鲅骟w直徑小,端電極附著力試驗直徑2~5mm,適合處理窄邊及細(xì)小溝槽位置。三、無二次污染:采用進(jìn)口專用電極材料,燒損極小,減少污染物產(chǎn)生,避免造成工件的二次污染。四、功率可調(diào):功率連續(xù)可調(diào),噴嘴結(jié)構(gòu)可根據(jù)需要調(diào)整,可適應(yīng)不同處理寬度。五、穩(wěn)定性高:采用德國電源技術(shù),故障率極低,避免造成生產(chǎn)停滯。。
可根據(jù)清洗劑選擇氧氣、氫氣或氮?dú)狻?(3)由于在真空室內(nèi)的電極和接地裝置之間施加了高頻電壓,電極附著力單位氣體被分解,通過輝光放電產(chǎn)生電離和等離子體。待處理的工件完全包裹在真空室內(nèi)產(chǎn)生的等離子體中,開始清洗。通常,清潔過程持續(xù)幾十秒到幾分鐘。 (4)清洗后,切斷高頻電壓,排出氣體和汽化的污垢,同時將氣體吹入真空室,使氣壓升至1個大氣壓。
產(chǎn)生等離子體的等離子體清洗/蝕刻裝置是將兩個電極布置在密封容器中形成電磁場,端電極附著力試驗用真空泵實現(xiàn)一定程度的真空,隨著氣體越來越稀薄,分子之間的距離和分子或離子自由運(yùn)動的距離也越來越長。在磁場作用下,碰撞形成等離子體,同時會產(chǎn)生輝光。等離子體在電磁場中運(yùn)動,轟擊被處理物體表面,從而達(dá)到表面處理、清洗和蝕刻的效果。。
在曲率半徑較小的尖端電極附近,檢驗電極附著力的方法有由于局部電場強(qiáng)度超過氣體的電離場強(qiáng)度,氣體發(fā)生電離和激發(fā),導(dǎo)致電暈放電。當(dāng)電極周圍可見光并伴有嘶嘶聲時,就會產(chǎn)生電暈。電暈放電可以是非均勻電場間隙擊穿過程中相對穩(wěn)定的放電形式,也可以是擊穿過程的早期發(fā)展階段。介質(zhì)阻擋放電(DBD)介質(zhì)阻擋放電(DBD)是將介質(zhì)絕緣體插入放電空間的一種非平衡氣體放電,又稱介質(zhì)阻擋電暈放電或無聲放電。
端電極附著力試驗
電暈放電(CoronaDischarge)氣體介質(zhì)在不均勻電場中的局部自持放電。是最常見的一種氣體放電形式。在曲率半徑很小的尖端電極附近,由于局部電場強(qiáng)度超過氣體的電離場強(qiáng),使氣體發(fā)生電離和激勵,因而出現(xiàn)電暈放電。發(fā)生電暈時在電極周圍可以看到光亮,并伴有咝咝聲。電暈放電可以是相對穩(wěn)定的放電形式,也可以是不均勻電場間隙擊穿過程中的早期發(fā)展階段 。
在曲率半徑較小的尖端電極附近,局部電場強(qiáng)度超過氣體的電離場強(qiáng),使氣體電離激發(fā),產(chǎn)生電暈放電。當(dāng)電暈發(fā)生時,可以看到電極周圍有光,并伴有滋滋作響的聲音。電暈放電可以是一種相對穩(wěn)定的放電形式,也可以是不均勻電場間隙擊穿過程中的早期發(fā)展階段。 介質(zhì)阻擋放電介質(zhì)阻擋放電(DBD)是在放電空間中插入絕緣介質(zhì)的一種非平衡氣體放電,又稱介質(zhì)阻擋電暈放電或無聲放電。
3.各種粒子數(shù)密度,即每單位體積的粒子數(shù)。四。各種粒子的溫度。如果電子和離子的溫度相等,則稱為平衡等離子體,否則稱為非平衡等離子體。五。等離子體存在的環(huán)境,如電場強(qiáng)度、磁場強(qiáng)度、電極結(jié)構(gòu)、氣流、放電容器等。 6.各種因素的作用時間。人工等離子體溫度約103~108K,電子數(shù)密度約108~1021/cm3,電流毫安~兆安,氣體壓力hPa~100kPa,放電頻率從直流到微波,而這些參數(shù)是等離子的,決定了各種用途。
但根據(jù)我們以往的應(yīng)用經(jīng)驗,手機(jī)按鍵和手機(jī)殼粘接前的表面處理線速度可大于6米/分鐘;密封條涂覆前表面處理線速度可大于18m/min;密封條植絨前表面處理線速度可大于8m/min;更多的參數(shù)需要你和我們一起摸索的單位使用。6.等離子清洗機(jī)處理過程中會不會有污染?等離子體表面處理是一種“清潔”的處理工藝。處理過程中電離空氣只產(chǎn)生少量臭氧O3,但部分物料在處理過程中會分解少量氮氧化物,應(yīng)配備排氣系統(tǒng)。
電極附著力單位
等離子體發(fā)生器碰撞后,檢驗電極附著力的方法有電子運(yùn)動變得不規(guī)則,在電場作用下,向電場力的方向加速,從而不斷地將能量從電場傳遞給氣體。等離子體發(fā)生器高頻放電時,單位體積氣體的平均輸入功率如下:其中n是電子密度;E是電子電荷;Ee為高頻電場強(qiáng)度的幅值;M是電子質(zhì)量;Vo為碰撞頻率;歐米茄是外加電場的頻率。這篇關(guān)于等離子體發(fā)生器的文章來自北京。轉(zhuǎn)載請注明出處。。等離子發(fā)生器設(shè)備可達(dá)到99%的清洗效果。
傳統(tǒng)型清洗加工工藝如cfc清潔、ods清潔,檢驗電極附著力的方法有由于污染環(huán)境,成本高昂,限制了現(xiàn)代電子設(shè)備技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展,特別是精密的機(jī)械設(shè)備制造半導(dǎo)體晶片等,因此等離子清洗機(jī)干式清洗,特別是plasma等離子清洗技術(shù)是目前發(fā)展的趨勢。真空等離子清洗機(jī)plasma技術(shù)清洗方法有兩種,一種是等離子在材料表面的反應(yīng),常見氣體,如氬(ar),氮(n2)等。二是氧自由基發(fā)生了化學(xué)變化,常見的氣體有氫(h2),氧(o2)等等。