等離子體表面處理機(jī) 由于等離子體的作用，聚酯的附著力差特定分子、氧自由基和不飽和鍵出現(xiàn)在耐火塑料表層，這些特定官能團(tuán)與等離子體中的特定粒子接觸，產(chǎn)生新的特定官能團(tuán). 將轉(zhuǎn)換為。 等離子表面處理不僅提高了結(jié)質(zhì)量，而且為使用低成本材料提供了新的可能性。等離子處理后，材料表面獲得新的性能，使普通材料獲得特殊材料。表面處理性能。真空等離子表面處理機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為控制單元、真空室、真空泵三部分，下面對(duì)三部分進(jìn)行說(shuō)明。

1.使用等離子態(tài)粒子的高能粒子及其性質(zhì)它非常活躍，聚酯的附著力差可以完成清潔和活化材料表面的雙重功能。 2.等離子清洗是通過(guò)等離子狀態(tài)的反應(yīng)性組分與材料表面上的有機(jī)污染物反應(yīng)產(chǎn)生氣態(tài)低分子量材料，并隨系統(tǒng)排出。 3.等離子活化是用等離子態(tài)的高能粒子對(duì)材料表面進(jìn)行攻擊，從而使材料的CH鍵等鍵斷裂，使原有的飽和結(jié)構(gòu)變?yōu)椴伙柡?、不飽和和等離子體態(tài)。

1、表面刻蝕在等離子體的作用下，聚酯的附著力差材料表面的一些化學(xué)鍵斷裂，形成小分子產(chǎn)物或被氧化成CO、CO2等。這些產(chǎn)品被氣體抽提過(guò)程除去，使材料表面變得不均勻，粗糙度增加。表面活化在低溫等離子體處理作用下，耐火塑料表面出現(xiàn)一些活性原子、自由基和不飽和鍵，這些活性基團(tuán)會(huì)與等離子體中的活性粒子發(fā)生反應(yīng)，形成新的活性基團(tuán)。

洗滌; 3、真空等離子清洗機(jī)清洗是一種環(huán)保的綠色清洗方式，聚酯的附著力差避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，清洗后不會(huì)產(chǎn)生有害污染物。隨著世界對(duì)環(huán)境保護(hù)的高度關(guān)注，這一點(diǎn)變得更加重要。 4. 無(wú)線電范圍內(nèi)的高頻產(chǎn)生的等離子體不同于激光等直射光。等離子的方向不強(qiáng)，深入細(xì)孔和凹入物體內(nèi)部完成清洗操作，因此無(wú)需考慮被清洗物體的形狀。此外，這些難清洗部位的清洗效果等同于或優(yōu)于氟利昂清洗。

聚酯的附著力差

等離子體的方向性不強(qiáng)，這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù)，因此不需要過(guò)多考慮被清洗物體的形狀。而且對(duì)這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果像是甚至更好；五、使用等離子清洗，可以使得清洗效率獲得極大的提高。整個(gè)清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成，因此具有產(chǎn)率高的特點(diǎn)；六、等離子清洗需要控制的真空度約為 Pa，這種清洗條件很容易達(dá)到。

（2）由于等離子體的衍射現(xiàn)象不強(qiáng)，更便于清洗凹凸不平、空洞、褶皺等復(fù)雜結(jié)構(gòu)的物體，適用性強(qiáng)； （3）等離子表面處理設(shè)備可處理多種基材，降低對(duì)清潔物品的要求，特別適用于清洗不耐熱、無(wú)溶劑的基材； (4) 清洗待清洗物體經(jīng)過(guò)等離子清洗后可進(jìn)行干燥，無(wú)需進(jìn)一步干燥即可進(jìn)行下道工序，因此提高了整條工藝線的處理效率，無(wú)廢液產(chǎn)生，工作氣體為由于無(wú)害，用戶應(yīng)遠(yuǎn)離有害溶劑。

真空等離子體清洗機(jī)的工作原理真空等離子體清洗機(jī)采用低壓氣體輝光等離子體。通過(guò)高頻低壓激發(fā)一些非聚合無(wú)機(jī)氣體(Ar2、N2、H2、O2等）產(chǎn)生離子，利用等離子體“活性”組分的性質(zhì)對(duì)樣品表面進(jìn)行處理，從而達(dá)到清洗和包覆的目的。

晶圓清洗是半導(dǎo)體制造過(guò)程中重要且頻繁的步驟，其工藝質(zhì)量直接影響器件良率、性能和可靠性，因此國(guó)內(nèi)外各大公司和研究機(jī)構(gòu)都在不斷研究。清洗過(guò)程。等離子清洗作為一種先進(jìn)的干洗技術(shù)，具有綠色環(huán)保的特點(diǎn)。隨著微電子行業(yè)的快速發(fā)展，等離子清洗機(jī)越來(lái)越多地應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)。等離子清洗具有工藝簡(jiǎn)單、操作方便、無(wú)廢物處理、無(wú)環(huán)境污染等優(yōu)點(diǎn)。等離子清洗通常用于光刻膠去除工藝。將少量氧氣引入等離子體反應(yīng)系統(tǒng)。

不飽和聚酯的附著力強(qiáng)不強(qiáng)

由于采用電能催化劑，聚酯的附著力差提供低溫環(huán)境，同時(shí)安全（safe）和高可靠性，可以杜絕濕法化學(xué)清洗產(chǎn)生的危險(xiǎn)和廢液，是環(huán)保的。友好。簡(jiǎn)而言之，等離子清洗技術(shù)結(jié)合了等離子物理、等離子化學(xué)和氣固兩相界面反應(yīng)，有效去除（去除）殘留在材料表面的有機(jī)污染物，具有性質(zhì)不受影響，現(xiàn)在被認(rèn)為是首要的替代傳統(tǒng)的濕法清潔。

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