同時(shí)，親水性和憎水性使用有不同由于離子發(fā)散的方向性，側(cè)壁側(cè)壁角的一致性難以控制。因此，用于硅刻蝕的電感耦合等離子體(ICP)高密度等離子體設(shè)備已逐漸應(yīng)用于氮化硅側(cè)壁刻蝕。由于ICP設(shè)備可以在低壓范圍內(nèi)工作，離子方向性好，散射小。同時(shí)，氣體在腔內(nèi)停留時(shí)間短，刻蝕均勻性好。而且在蝕刻過程中采用腔體預(yù)沉積功能，即在蝕刻每片晶圓前在腔體上沉積薄膜，蝕刻后去除腔壁上的薄膜。從而保證了晶圓蝕刻時(shí)腔體環(huán)境的一致性，大大提高了蝕刻過程的穩(wěn)定性。

微波源配備合適的匹配系統(tǒng)可以根據(jù)清洗腔體及產(chǎn)品等清洗條件的不同進(jìn)行負(fù)載阻抗自動(dòng)調(diào)節(jié)，親水性和疏水性一致使清洗效果及一致性達(dá)到最佳。微波頻率相對(duì)于射頻有兩個(gè)決定性優(yōu)勢(shì)，其一是離子濃度最高,在微波等離子里的反應(yīng)微粒數(shù)量要遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于在射頻等離子里的反應(yīng)等離子數(shù)量，這會(huì)使反應(yīng)速度更快，反應(yīng)時(shí)間更短。其二，等離子的一個(gè)自然特性是可以在直接暴露于等離子的基材上生成一種自偏壓。

但如果噴出“火焰”，親水性和疏水性一致很容易在某一點(diǎn)長(zhǎng)時(shí)間不動(dòng)而燒毀表面。因此，常壓等離子體清洗機(jī)的溫度只能在實(shí)際工況下測(cè)量。大氣壓與真空等離子清洗機(jī)的差異然而，真空等離子清洗機(jī)并沒有那么復(fù)雜。根據(jù)電源的頻率，以40kHz和13.56MHz為例：正常情況下，材料放入腔體工作，頻率為40kHz，一般溫度在65以下。而且，該機(jī)配備了強(qiáng)勁的散熱風(fēng)扇。如果加工時(shí)間不長(zhǎng)，材料表面溫度會(huì)與室溫一致。

對(duì)于形狀復(fù)雜的基底，親水性和疏水性一致如外表有效小溝槽或螺紋等，在復(fù)雜形狀附近的等離子體參數(shù)分布會(huì)有所差別，這將會(huì)導(dǎo)致其周圍電場(chǎng)的變化，進(jìn)而改變這個(gè)區(qū)域的離子濃度和離子轟擊的能量。如果采用常規(guī)等離子處理機(jī)滲氮，則鞘層內(nèi)的離子碰撞會(huì)更加頻繁，就會(huì)導(dǎo)致離子的能量降(低)，因此也就難以激(活)氧化物較多的金屬表面，如不銹鋼等。這種復(fù)雜形狀基底情況還會(huì)導(dǎo)致區(qū)域溫度過熱，滲氮特性也會(huì)與其他基底不同。

親水性和疏水性一致

碳纖維作為優(yōu)良的復(fù)合材料增強(qiáng)劑，在其實(shí)際應(yīng)用過程中，為了修補(bǔ)缺陷，進(jìn)一步提高性能，并滿足不同的使用需求，經(jīng)常會(huì)在碳纖維表面屠夫一層新的材料。涂層方法很多，包括PVD、CVD、電鍍、化學(xué)鍍和sol-gel等技術(shù)。

與物理反應(yīng)相比，化學(xué)變化的缺點(diǎn)難以克服。然而，兩種 PLASMA 裝置的反應(yīng)機(jī)制對(duì)表面的微觀形態(tài)有非常不同的影響。物理反應(yīng)可以在分子水平上使表面變粗糙，改變表面的粘合強(qiáng)度。另一種對(duì)表面反應(yīng)機(jī)理的物理和化學(xué)變化起重要作用的等離子清洗是等離子器件的反應(yīng)離子刻蝕或離子束刻蝕。兩者可以互相促進(jìn)清潔。離子沖擊會(huì)破壞干凈的表面，削弱其化學(xué)鍵或形成容易吸收反應(yīng)物的原子狀態(tài)。離子的碰撞加熱待清潔的物體，使反應(yīng)更容易發(fā)生。

根據(jù)紙箱的不同種類，如直箱、底鎖箱、紙箱等，可配置不同數(shù)量的噴槍進(jìn)行處理。等離子清洗機(jī)處理涂膜彩盒后的優(yōu)點(diǎn)；1.等離子清洗機(jī)表面處理后，材料的表面張力、箱體的結(jié)合強(qiáng)度和產(chǎn)品質(zhì)量得到提高2.等離子清洗機(jī)取代熱熔膠，使用冷粘膠或低檔普通膠。

可作為等離子設(shè)備的汽車零部件用PP塑料按功能大致可分為以下四類：1.增韌改性聚丙烯塑料由于增韌劑的加入，具有極高的沖擊強(qiáng)度和低溫韌性，專門適用于汽車前保險(xiǎn)杠、側(cè)裙墻板、外部防擦條、輪罩墊等配件的生產(chǎn)；2.補(bǔ)充強(qiáng)化改性PP塑料，即無機(jī)補(bǔ)充、彈性體強(qiáng)化，具有模量高、剛性耐熱性好、寬度可靠性和穩(wěn)定性好等突出優(yōu)點(diǎn)，克服了一般PP塑料收縮率大、熱變形溫度低、機(jī)械耐久性差等缺點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于汽車內(nèi)外飾件生產(chǎn)；3.補(bǔ)充改性聚丙烯塑料可進(jìn)一步提高普通聚丙烯塑料的剛性、耐熱性和寬度可靠性穩(wěn)定性，具體適用于生產(chǎn)耐高溫?zé)o應(yīng)力結(jié)構(gòu)件，如汽車空調(diào)殼體、汽車空調(diào)軸流風(fēng)機(jī)、防風(fēng)圈等；4.增強(qiáng)玻璃纖維增強(qiáng)聚丙烯塑料是聚烯烴塑料中強(qiáng)度、剛度、耐熱性和寬度可靠性穩(wěn)定性最高的塑料，專門適用于生產(chǎn)發(fā)動(dòng)機(jī)吸氣系統(tǒng)、發(fā)動(dòng)機(jī)冷卻風(fēng)扇架、發(fā)動(dòng)機(jī)吸氣系統(tǒng)濾清器等高強(qiáng)度、高耐熱性產(chǎn)品。

親水性和疏水性一致

電子對(duì)材料外表面的作用。材料外表面一方面受撞擊作用，親水性和疏水性一致會(huì)促使吸附在材料外表面的氣體分子被分解或吸附，另一方面大量的電子碰撞則有助于化學(xué)反應(yīng)。因?yàn)殡娮拥馁|(zhì)量很小，所以比離子運(yùn)動(dòng)得更快。用等離子體處理時(shí)，電子到達(dá)材料外部表面層的時(shí)間早于表面層，并使表面層帶負(fù)電荷，這有助于更進(jìn)一步引起反應(yīng)。小編從微觀上講解了等離子體與材料外表面相互作用。。

熱等離子體裝置利用帶電物體的尖端（如刀形或針形尖端和狹縫電極）產(chǎn)生稱為電暈放電的非均勻電場(chǎng)，親水性和憎水性使用有不同利用電壓和頻率、電極間距和處理. 控制電暈處理效果的溫度和時(shí)間會(huì)受到影響。電源電壓和頻率越高，加工強(qiáng)度越高，加工效果越好。但是，如果電源頻率過高或電極間隙過寬，則電極之間的離子碰撞次數(shù)過多，會(huì)產(chǎn)生不必要的能量損失。如果電極間隙過小，則會(huì)出現(xiàn)感應(yīng)損耗和能量損耗。