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40kHz的自偏壓約1000V，青海射頻等離子清洗機(jī)品牌13.56MHz的自偏壓約250V，20MHz的自偏壓低。這三種激勵(lì)頻率系統(tǒng)是不同的。 40kHz 的反應(yīng)是物理反應(yīng) 13.56MHz 的反應(yīng)既是物理反應(yīng)又是化學(xué)反應(yīng)。在20MHz，有物理反應(yīng)，但更重要的反應(yīng)是化學(xué)反應(yīng)。必須使用 13.56 MHz 激活（化學(xué)化）和修改材料。 20兆赫。
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