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氣體的流入壓縮了從吸入側(cè)供應(yīng)的氣體量。隨著活塞繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，壓縮氣體從出口法蘭排出。對(duì)每轉(zhuǎn)每?jī)蓚€(gè)活塞重復(fù)此過(guò)程兩次。通過(guò)產(chǎn)房非接觸式可以以更高的速度操作搖臂活塞泵。因此，可以使用較小的泵實(shí)現(xiàn)相對(duì)較高的泵速。搖臂柱塞泵限制了吸入側(cè)和出口側(cè)之間的壓差和補(bǔ)償比。羅茨泵功能圖我們會(huì)讓您知道哪種泵適合您的工藝。。等離子清洗機(jī)常用氣體及用途等離子清洗機(jī)常用的處理氣體有空氣、氧氣、氬氣、氬氫混合氣體、CF4等。

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高頻等離子體取決于電源和等離子體的耦合方式子火炬可分為電感耦合型（圖 4a）、電容耦合型（圖 4b）、微波耦合型（圖 4c）和火焰型（圖 4d）。高頻等離子炬由高頻電源、放電室、等離子工作氣體供應(yīng)系統(tǒng)三部分組成。后者除提供軸向工作氣體外，還提供切向冷卻和保護(hù)放電室壁（通常為石英或耐熱性較差的材料），如電弧等離子炬氣體以穩(wěn)定電弧，還提供渦流氣體。

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