等離子體處理器廣泛應(yīng)用于等離子體清洗、等離子體刻蝕、等離子體晶片脫膠、等離子體鍍膜、等離子體灰化、等離子體活化和等離子體表面處理等領(lǐng)域。等離子體清洗機(jī)用于去除晶片表面的顆粒,靜電噴塑怎樣增加附著力徹底去除光刻膠等有機(jī)物,活化和粗糙晶片表面,提高晶片表面潤濕性等等離子體清洗劑的應(yīng)用包括預(yù)處理、灰化/光刻膠/聚合物剝離、晶圓凸點(diǎn)、靜電消除、介質(zhì)蝕刻、有機(jī)污染去除、晶圓減壓等。
等離子體清潔材料表面,靜電噴塑怎樣增加附著力既可除去無機(jī)污染物,如粉塵,又可分解表面油脂等有機(jī)污染物;塑料材料的表面活化,主要是通過在材料表面形成新的活性官能基;等離子體還可去除材料表面靜電。常壓等離子處理技術(shù)的應(yīng)用范圍非常廣泛,它可用于各種粘接、噴涂、印刷等工藝過程,對塑料、金屬或玻璃材料進(jìn)行表面處理。
PLASMA清洗機(jī)的功能主要是:等離子活化:大幅提高表面的潤濕性能,靜電噴塑附著力檢測形成活性的表面等離子清洗:去除灰塵和油污,清洗和去靜電等離子涂層:通過表面涂層處理提供功能性的表面1)對材料表面的刻蝕作用--物理作用等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子,作用到固體樣品表面,不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì),而且會產(chǎn)生刻蝕作用,將樣品表面變粗糙,形成許多微細(xì)坑洼,增大了樣品的比表面。
電容耦合射頻等離子體中的離子通常以網(wǎng)狀方向向襯底移動。這取決于離子和電子對產(chǎn)生等離子體的電場極性變化的反應(yīng)時間。電子的反應(yīng)比離子快得多,靜電噴塑附著力檢測因為它們更輕。因此,放置在電子路徑中的矩陣在等待陽離子到達(dá)時帶負(fù)電。帶負(fù)電荷的表面的靜電吸引力加速了陽離子朝向表面。碰撞允許這些離子從表面去除材料。氬氣適用于以這種方式使表面略微粗糙??梢酝ㄟ^設(shè)置等離子體的能量和壓力來控制加速離子的能量。
靜電噴塑附著力檢測
近年來,利用低溫等離子體(LTP)技術(shù)對紡織材料進(jìn)行表面改性越來越受到人們的重視。等離子體加工可以改變纖維和紡織品的許多特性,如吸水、染色、耐收縮率、附著力和抗靜電等性能,而且只涉及纖維材料的表面,所以它不損害材料基體,是一種干燥、成本低、能達(dá)到高功能性、高附加值的生態(tài)加工技術(shù)。采用大氣等離子體處理技術(shù)對真絲織物進(jìn)行表面處理研究了低溫等離子體處理對真絲織物噴墨印花性能的改善。。
等離子機(jī)可以對塑料表面進(jìn)行清洗,對聚乙烯、聚丙烯、聚酯、PVC等塑料表面進(jìn)行活化改性,達(dá)到打碼、粘貼、印刷等效果。等離子表面清潔劑還可以對玻璃表面進(jìn)行精細(xì)清潔,去除表面(有機(jī))有機(jī)物、無機(jī)物和灰塵雜質(zhì),去除靜電,提高表面能,這就是防指紋液體涂料的預(yù)處理,我可以做到。等離子機(jī)也可用于橡膠表面處理。冷等離子機(jī)用于處理橡膠表面。操作簡單,處理前后無有害物質(zhì)產(chǎn)生,處理效果(效果)好,效率高,運(yùn)行成本低。
三、檢測經(jīng)等離子活化、清洗表面處理之后的效果通過適當(dāng)?shù)牡入x子工藝流程或者在等離子工藝流程中進(jìn)行適當(dāng)?shù)耐扛蔡幚?,親水性表面會轉(zhuǎn)變?yōu)槭杷员砻妫ㄟM(jìn)行親水性涂層處理,則得到相反的效果)。接觸角測試是指在觀察靜止液滴在固體上的投影時,液滴輪廓與固體表面在三相交點(diǎn)處相切所形成的夾角。按照物理定義,表面的接觸角小于90°的為親水性(可潤濕),接觸角大于90°的為疏水性(不可潤濕)。
dyne值小,物體表面能低,等離子體處理后dyne值大,物體表面能大,表面能越大,吸附越好,粘接和涂層效果越好;2.測量水滴角(接觸角)落差角試驗可以反映等離子體對產(chǎn)品處理是否有影響。目前,等離子清洗效果評價是行業(yè)內(nèi)最常見、最受認(rèn)可的檢測方法。試驗數(shù)據(jù)準(zhǔn)確,操作簡單,重復(fù)性和穩(wěn)定性高。
靜電噴塑怎樣增加附著力
然而,靜電噴塑怎樣增加附著力PD 負(fù)載對 C2 烴類產(chǎn)品的分布有顯著影響。在 0.01% 的 PD 負(fù)載下,C2 烴產(chǎn)品中 C2H4 的摩爾分?jǐn)?shù)增加到 78%。即C2烴類產(chǎn)品主要是C2H4。檢測到 C2H2,但生成了 C3H8。隨著PD負(fù)荷從0.01%增加到1%,C2烴類產(chǎn)品中C2H4的摩爾分?jǐn)?shù)逐漸降低,C2烴類產(chǎn)品中C2H6的摩爾分?jǐn)?shù)逐漸增加到LA2O3/Y。表明已經(jīng)添加了PD。 -AL2O3催化劑進(jìn)一步增加。
它還通過處理來自 Ar 等離子體的碳?xì)浠衔锖推渌廴疚锏谋砻妫o電噴塑附著力檢測顯著提高了 Au 的附著力。等離子處理后,基材表面會殘留一層含有氟化物的灰色材料??梢酝ㄟ^解決方案將其刪除。同時有利于提高表面的附著力和潤濕性。在清洗過程中通過激活等離子體表面形成的自由基可以進(jìn)一步形成某些官能團(tuán)。此類特定官能團(tuán),尤其是含氧官能團(tuán)的引入,對提高材料的粘合性和潤濕性有明顯的作用。等離子工藝傳統(tǒng)的化學(xué)清洗有幾個優(yōu)點(diǎn)。