主要電氣控制部分包括:真空泵、射頻電源、真空表、定時器、浮子流量計、綠色電源指示器、蜂鳴器、電源調(diào)節(jié)器、放空按鈕(自鎖)、氣體一鍵(自鎖)、氣體兩鍵(自鎖)、高頻電源按鈕(自鎖)、真空泵按鈕(自鎖)、主電源旋鈕開關(guān)。。等離子體發(fā)生器可使操作人員遠離有害溶劑對人體的危害:絕大多數(shù)真空泵低溫等離子體發(fā)生器設(shè)備都采用真空泵抽吸,小型等離子體清洗儀抽油泵腔。有些應(yīng)用程序是獨立的,有些則是組合的。低溫等離子發(fā)生器,中小型真空泵。

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由于真空氣體通常是高潔凈氣體,有些真空空氣通道沒有安裝過濾器。工藝氣體通常是高潔凈氣體,過濾器通常是可選部件。工藝氣體控制部分主要包括調(diào)壓閥、過濾器、帶報警輸出的報警器、真空電磁閥和質(zhì)量控制器。工藝氣通常配置兩個通道,根據(jù)需要也可配置多個通道。3.真空等離子清洗機空氣控制元件及進氣順序為:過濾器→調(diào)壓閥、帶報警輸出的壓力表→真空電磁閥→質(zhì)量控制器。

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