在非熱力學(xué)平衡狀態(tài)下的低溫在離子體中，附著力很強(qiáng)的白色膠電子具有較高的能量，可以打破材料表面分子的化學(xué)鍵，提高粒子的化學(xué)反應(yīng)性(高于熱等離子體)，而中性粒子的溫度接近室溫。這些優(yōu)點(diǎn)為熱敏聚合物的表面改性提供了合適的條件。

清洗物料表面時(shí)，附著力很強(qiáng)的防曬霜好嗎可根據(jù)要清洗的污染物的特性選擇工作氣體。此外，還有一種大氣介質(zhì)阻擋放電等離子體清洗裝置，可在大氣壓力下對(duì)連續(xù)纖維、織物等大型織物表面進(jìn)行清洗。介質(zhì)阻擋放電(DBD)能產(chǎn)生宏觀均勻穩(wěn)定、放電強(qiáng)度高、加工效率高的等離子體。

物質(zhì)可以從一種能量狀態(tài)轉(zhuǎn)換為另一種能量狀態(tài)（例如熱）。當(dāng)氣態(tài)物質(zhì)被加熱到更高的溫度或氣體暴露在高能量下時(shí)，附著力很強(qiáng)的白色膠氣態(tài)變?yōu)榈谒膽B(tài)，等離子體。一些氣體原子分解成電子和離子，而另一些則吸收能量成為半穩(wěn)定原子并具有化學(xué)活性。在這種狀態(tài)下，不僅有具有特定能量的中性原子和分子，而且還有相當(dāng)數(shù)量的帶電粒子和具有化學(xué)活性的半穩(wěn)態(tài)原子和分子。電離自由電子的總負(fù)和等于陽(yáng)離子的正電荷。這種高度電離的宏觀中性氣體被稱為等離子體。

等離子蝕刻是通過(guò)化學(xué)或物理作用，附著力很強(qiáng)的防曬霜好嗎或物理作用和化學(xué)作用的結(jié)合來(lái)實(shí)現(xiàn)的。在反應(yīng)過(guò)程中，反應(yīng)室內(nèi)的氣體通過(guò)輝光放電形成含有離子、電子和自由基等活性物質(zhì)的等離子體。這些物質(zhì)由于具有擴(kuò)散性而被吸附在介質(zhì)表面，與介質(zhì)表面的原子發(fā)生化學(xué)作用，反應(yīng)產(chǎn)生揮發(fā)性物質(zhì)。同時(shí)，更高能量的離子在一定壓力下物理沖擊和蝕刻介電表面，去除再沉積反應(yīng)產(chǎn)物和聚合物。介質(zhì)層的刻蝕是由等離子表面處理設(shè)備的物理和化學(xué)性能共同作用完成的。

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與其他放電方式相比，脈沖電暈還具有以下優(yōu)點(diǎn):(1)脈沖電暈工作在較高的脈沖電壓下，不像直流電暈在稍高電壓下容易過(guò)渡到火花放電，及其活性粒子濃度可以好幾個(gè)數(shù)量級(jí)高于直流電暈;(2)由于日冕面積大,放電空間的電子密度更高的高電壓的作用下,和空間電荷效應(yīng)更加明顯,反應(yīng)中電子的分布區(qū)域往往是統(tǒng)一的,所以有源電暈的空間要比直流電暈大得多，要注意使用高壓開(kāi)關(guān)電源;(3)由于電子密度高、分布廣，電抗器的設(shè)計(jì)空間大，允許電抗器制造誤差大。

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