首先是等離子體與物體表面的碰撞，油漆附著力檢查視頻教程這種碰撞的物理反應。不得不說，等離子體與物體表面之間會發(fā)生各種化學反應。各種等離子清洗的主要反應不同，不受氣體刺激。成分、使用的氣體、激發(fā)頻率和清潔過程中的主要反應非常重要。目前，半導體封裝主要使用氬氣、氧氣和氫氣等氣體。恒定比例的氬氫混合物也可以用作激發(fā)氣體來清潔晶圓、引線框架和基板的表面，以去除要清潔的物體。
等離子體清洗機常見主機電源為13.56kHz頻率發(fā)射主機電源，油漆附著力檢查視頻教程可產(chǎn)生高等離子體密度、軟能量、低溫，通常功率1～2千瓦，大功率5千瓦，小功率幾百瓦，多功率40千瓦，小功率幾百千瓦，多功率40KHz，中頻40KHz，中頻等離子清洗機主機電源，大功率5千瓦，低功率幾百KHz，多功率40KHz，中頻40KHz，能量軟，溫度低。通常功率1～2千瓦，大功率5千瓦，小功率幾百千瓦，小功率幾百千赫，多為40千赫。
(2)從激發(fā)頻率來看，油漆附著力檢查視頻教程可將其分為激發(fā)頻率為40kHz的等離子體、激發(fā)頻率為13.56MHz的射頻等離子體以及激發(fā)頻率為2.45GHz的微波等離子體，實際半導體生產(chǎn)應用中多數(shù)采用射頻等離子體清洗和微波等離子體清洗。(3)從反應氣體種類看，可將其分為反應性氣體被激發(fā)產(chǎn)生的等離子體(如O2、H2等)和惰性氣體被激發(fā)所產(chǎn)生的等離子體(如Ar、N2等)。前者是化學清洗手段，后者是物理清洗手段。
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電源將被激活，射頻電源將被用來激發(fā)反應室中的氣體。在預先設定的時間內(nèi)，等離子體將在反應室中加工產(chǎn)品。當產(chǎn)品經(jīng)過等離子體處理后，反應室內(nèi)的射頻電源將停止。作業(yè)煤氣也將被切斷。真空斷路器的截止閥將被打開，以凈化反應室。真空管將被關閉，使先前被阻塞的氣體返回反應室并恢復到大氣壓力。操作員打開反應室的門。處理過的產(chǎn)品可以從真空室中取出，整個過程結(jié)束。
等離子體系統(tǒng)可以以各種形式集成，如模塊化系統(tǒng)。下面你可以看到飛秒管等離子體系統(tǒng)最常用的選擇。
常見的等離子清洗機通常有兩種，一種是低壓真空等離子表面處理設備，一種是常壓大氣等離子表面處理設備，分別為真空等離子清洗機和常壓等離子表面處理設備。
原子團等自由基與物體表面的反應 由于這些自由基呈電重型，存在壽命較長，而 且在等離子體中的數(shù)量多于離子，因此自由基在等 離子體中發(fā)揮著重要作用。
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