等離子體（plasma）被認(rèn)為是繼固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)后的物質(zhì)的第四態(tài)。等離子清洗技術(shù)其主要有3個(gè)作用：物理作用（刻蝕）、交聯(lián)作用（激活鍵能）、化學(xué)作用（形成新的官能團(tuán)）。不僅可以在材料表面進(jìn)行均勻地刻蝕，還能在不改變材料整體性能的情況下，有效轉(zhuǎn)變各類基材表面的親疏水性能，通過轉(zhuǎn)變材料表面的親疏水性能，可以實(shí)現(xiàn)材料表面的潤(rùn)滑、防水、自清潔的能力，從而提高現(xiàn)有材料的應(yīng)用性能，拓展材料的應(yīng)用領(lǐng)域。CF4（四氟化碳）氣體在plasma等離子清洗中的作用
CF4（四氟化碳）由于良好的電負(fù)性作為SF6潛在的替代性氣體和等離子刻蝕氣體而成為研究的熱點(diǎn)。CF4是一種無毒、絕緣特性良好且溫室效應(yīng)值較低（約為CO2的6300倍）的氣體，是代替SF6作為絕緣氣體的潛在氣體之一，由于CF4在外場(chǎng)下能夠形成富含電子、氟離子和碳氟基團(tuán)的等離子體，從而與工件表面反應(yīng)，改變器件表面的化學(xué)物理性質(zhì)（如憎水性，改變表面光滑度等），因而CF4等離子體刻蝕技術(shù)被廣泛研究。
在半導(dǎo)體、集成電路等電子產(chǎn)品生產(chǎn)中，等離子清洗是一種常用的工藝。是利用典型的氣體電離形成具有強(qiáng)烈蝕刻性的氣相等離子體與物體表面的基體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成如CO,CO2,H2O等氣體，從而達(dá)到清洗的目的。四氟化碳（CF4）是實(shí)現(xiàn)刻蝕功能的一種無色無味的氣體，無毒、不燃。四氟化碳（CF4）在電離后會(huì)產(chǎn)生含氫氟酸成分的刻蝕性氣相等離子體，能夠?qū)Ω鞣N有機(jī)表面實(shí)現(xiàn)刻蝕達(dá)到去除損傷層的目的。在晶圓制造、線路板制造、太陽能電池板制造等行業(yè)中被廣泛應(yīng)用。工作腔體中通入CF4加O2后等離子體清洗硅晶圓Si的反應(yīng)過程如下：
O2+CF4+Si=SiF4↑+CO2↑
反應(yīng)后產(chǎn)生的SiF4能隨等離子清洗機(jī)的工作腔體抽真空抽走。
聚合物表面改性的有效方法之一就是低溫等離子體處理。尤其是CF4等離子體處理,具有溫和的刻蝕作用和強(qiáng)的氟化特性。CF4等...

四氟化碳（CF4）等離子體表面活化法處理聚酰亞胺薄膜

等離子體表面活化法就是在非聚合性無機(jī)氣體環(huán)境下利用低溫等離子體技術(shù)在材料表面（幾十到數(shù)千埃范圍內(nèi)）生成活性基團(tuán)的方法。通過對(duì)聚酰亞胺的表面活化，打破聚酰亞胺分子機(jī)構(gòu)并引入含氟基團(tuán)，以達(dá)到降低材料介電常數(shù)和介電損耗的目的。處于等離子體氣氛中的聚酰亞胺表面由于受到紫外輻照以及各種活性粒子如自由基、激發(fā)態(tài)...

CF4（四氟化碳）O2（氧氣）等離子清洗多層PCB軟硬結(jié)合板連接通孔原理

等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常情況下物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)3種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下可以以第四種狀態(tài)存在。這類物質(zhì)所處的狀態(tài)稱為等離子體狀態(tài)。等離子體中存在下列物質(zhì)：處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)（自由基）；離子化的原子、分子；分子解離反應(yīng)過程中生成的紫外線...

CF4（四氟化碳）在plasma等離子清洗工藝中的作用

等離子體（plasma）被認(rèn)為是繼固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)后的物質(zhì)的第四態(tài)。等離子清洗技術(shù)其主要有3個(gè)作用：物理作用（刻蝕）、交聯(lián)作用（激活鍵能）、化學(xué)作用（形成新的官能團(tuán)）。不僅可以在材料表面進(jìn)行均勻地刻蝕，還能在不改變材料整體性能的情況下，有效轉(zhuǎn)變各類基材表面的親疏水性能，通過轉(zhuǎn)變材料表面的親疏水性能，...

1、CF4（四氟化碳）O2（氧氣）等離子清洗多層PCB軟硬結(jié)合板連接通孔原理

等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常情況下物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)3種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下可以以第四種狀態(tài)存在。這類物質(zhì)所處的狀態(tài)稱為等離子體狀態(tài)。等離子體中存在下列物質(zhì)：處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)（自由基）；離子化的原子、分子；分子解離反應(yīng)過程中生成的紫外線...

2、四氟化碳（CF4）等離子體表面活化法處理聚酰亞胺薄膜

等離子體表面活化法就是在非聚合性無機(jī)氣體環(huán)境下利用低溫等離子體技術(shù)在材料表面（幾十到數(shù)千埃范圍內(nèi)）生成活性基團(tuán)的方法。通過對(duì)聚酰亞胺的表面活化，打破聚酰亞胺分子機(jī)構(gòu)并引入含氟基團(tuán)，以達(dá)到降低材料介電常數(shù)和介電損耗的目的。處于等離子體氣氛中的聚酰亞胺表面由于受到紫外輻照以及各種活性粒子如自由基、激發(fā)態(tài)...

3、等離子蝕刻 pdms（四氟化碳對(duì)晶圓制造和pcb線路板結(jié)合等離子蝕刻機(jī)的應(yīng)用）

當(dāng)?shù)入x子體能量密度為860kJ/mol 時(shí)，四氟化碳對(duì)晶圓制造和pcb線路板結(jié)合等離子蝕刻機(jī)的應(yīng)用C2H6轉(zhuǎn)化率為23.2%，C2H4和C2H2收率之和為11.6%。一般認(rèn)為在流動(dòng)式等離子體反應(yīng)器中，當(dāng)反應(yīng)氣體流速一定時(shí)，體系中高能電子密度及其平均能量主要決定于等離子體能量密度。一、設(shè)備結(jié)構(gòu)等離子清...

4、寶豐堂等離子清洗機(jī)（寶豐堂等離子清洗機(jī)四氟化碳作用）

采用橡塑表面處理技術(shù)，寶豐堂等離子清洗機(jī)等離子清洗機(jī)操作簡(jiǎn)單，處理前后無有害物質(zhì)，處理效果好，效率高，操作省。等離子體清洗機(jī)表面改性是等離子體與相關(guān)材料表面相互作用的過程，包括物理作用和化學(xué)反應(yīng)兩個(gè)過程。低溫等離子體表面技術(shù)工藝包括：（1）物理反應(yīng)：基本形式是純物理撞擊，將粘在塑料材料表面的原子或原...

5、PTFE聚四氟乙烯等離子處理，提高粘接附著力、親水性，氟聚合物材料等離子處理，提升達(dá)因值

PTFE（聚四氟乙烯），其優(yōu)異的特性被稱為“塑膠王”。在PTFE材料應(yīng)用中，等離子表面處理對(duì)PTFE具有多重效應(yīng)，包括提高表面粘接性，使其更易與膠水、涂層或其他材料粘合；清潔表面，去除污垢和雜質(zhì)，提高表面質(zhì)量；改善潤(rùn)濕性，從而提高潤(rùn)滑性能；增加耐磨性，延長(zhǎng)使用壽命；提高涂裝性能，增強(qiáng)涂層的附著力和質(zhì)...

6、乙烯表面改性（聚四氟乙烯表面改性的用途）聚乙烯表面改性

四氟乙烯(PTFE)又稱Teflon、Teflon，聚乙烯表面改性是一種具有高品質(zhì)特性的塑料材料，在許多工業(yè)部門被廣泛應(yīng)用。由于聚四氟乙烯的獨(dú)特配方，附著力低，專一性小，是非常典型的粘塑堅(jiān)硬，但在實(shí)際使用四氟乙烯時(shí)，通常會(huì)進(jìn)行設(shè)計(jì)印刷，或與其他材料粘接，所以為了保證裝訂和設(shè)計(jì)印刷的質(zhì)量，一般正在開發(fā)...

7、聚四氟乙烯附著力（如何提高聚四氟乙烯附著力）

四氟乙烯，如何提高聚四氟乙烯附著力或聚四氟乙烯，又稱聚四氟乙烯、聚四氟乙烯，是一種具有優(yōu)質(zhì)特性的塑料材料，廣泛應(yīng)用于許多工業(yè)部門。將待處理的PTFE聚四氟乙烯放入等離子表面處理設(shè)備的腔室中，聚四氟乙烯附著力打開真空泵抽至一定的真空值；然后，引入工藝氣體，啟動(dòng)等離子體發(fā)生器，電離產(chǎn)生的等離子體與材料表...