例如,附著力和切向反力等離子體中的二次電子連接被用來(lái)消除不必要的化合物或分解氮化物。氣體中激發(fā)態(tài)和電離態(tài)粒子的存在可能導(dǎo)致等離子體表面清洗機(jī)中新的化學(xué)反應(yīng)過(guò)程的存在。傳統(tǒng)化學(xué)中,分子能量在0~0.5eV范圍內(nèi)反應(yīng)。在光化學(xué)中,驅(qū)動(dòng)能量在0~7eV范圍內(nèi),與環(huán)境分子的光激發(fā)有關(guān)。此外,等離子體化學(xué)還有...