由于薄膜金剛石在超硬維護(hù)涂層、光窗口、熱沉數(shù)據(jù)、微電子等方面都具有重要意義，低溫等離子清洗機(jī)公司因此，當(dāng)人類掌握了金剛石薄膜的制備技術(shù)，特別是單晶金剛石薄膜的制備技術(shù)后，依靠數(shù)據(jù)的前史就會(huì)由硅材料年代迅速進(jìn)入金剛石年代。但目前對(duì)等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石膜的機(jī)理尚不清楚，尤其是異質(zhì)外延單晶金剛石膜，其困難之處在于：低溫等離子體處于熱不平衡狀態(tài)，所使用的反應(yīng)氣體也是多原子分子，反應(yīng)體系復(fù)雜，缺乏基本的數(shù)據(jù)支持。

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