由于等離子體中存在電子、離子和自由基等活性粒子，天津等離子處理機(jī)批發(fā)它們很容易與固體表面本身發(fā)生反應(yīng)。反應(yīng)的種類可分為物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)。物理反應(yīng)主要以沖擊的形式將污染物與表面分離，然后通過氣體將它們帶走?；瘜W(xué)反應(yīng)是活性粒子之間的反應(yīng)。產(chǎn)生揮發(fā)物并被帶走的污染物。在實際使用過程中，通常使用Ar氣進(jìn)行物理反應(yīng)，使用O2或H2進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)。圖1為反應(yīng)原理示意圖。等離子清洗的效果通常在滴水試驗中直觀地體現(xiàn)出來。

簡而言之，天津等離子體清洗機(jī)廠家電話等離子體清洗技能結(jié)合了等離子體物理、等離子體化學(xué)和氣固兩相界面反應(yīng)，能夠有效鏟除殘留在資料外表的有機(jī)污染物，并確保資料的外表及本體特性不受影響，現(xiàn)在被考慮為傳統(tǒng)濕法清洗的首要替代技能。 更重要的是，等離子體清洗技能不分處理目標(biāo)的基材類型，對半導(dǎo)體、金屬和大多數(shù)高分子資料均有很好的處理效果，并且能夠完成整體、部分以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。

等離子表面處理機(jī)在塑料橡膠行業(yè)的應(yīng)用：聚丙烯、聚四氟乙烯等塑料材料是非極性的，天津等離子體清洗機(jī)廠家電話這使得工業(yè)應(yīng)用中的一些塑料制品在沒有表面粘合的情況下，不經(jīng)過等離子表面處理就很難粘合。 ，印刷、涂膠、涂膠等工藝都非常低效甚至不可能。一些工藝在制造過程中使用一些化學(xué)品來處理這些橡膠和塑料的表面。這樣可以改變粘合效果，但是這種方法難學(xué)，化學(xué)品本身有毒，操作非常復(fù)雜，成本高。此外，化學(xué)品會影響橡膠和塑料材料固有的優(yōu)越性能。

對于實際的原子層蝕刻過程中每一個循環(huán)的反應(yīng)A和B而言，天津等離子體清洗機(jī)廠家電話理想的單層自限制蝕刻過程很難被實現(xiàn)。反應(yīng)A包括4種不同的表面改性機(jī)理，分別為化學(xué)吸附、沉積、轉(zhuǎn)換和剝離。反應(yīng)B大多需要等離子體輔助，運用離子進(jìn)行各向異性蝕刻，得到高深寬比的蝕刻結(jié)構(gòu)。等離子表面處理機(jī)從原子層蝕刻開發(fā)到目前為止，已經(jīng)被證明適用于二十多種不同的材料，包括半導(dǎo)體、絕緣體和金屬等。相信在不久的將來，它會被應(yīng)用于更多的材料蝕刻。。

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