高活性氧離子可與斷裂的分子鏈發(fā)生化學反應，電暈駐極處理架子形成活性基團的親水性外觀，達到外觀活化的意圖；鍵斷裂后，有機污染物的元素會與高活性氧離子發(fā)生化學反應，形成CO、CO2、H2O等分子結構，脫離表象，達到清洗表象的意圖。氧氣主要用于聚合物表面活化和有機污染物去除，不用于易氧化金屬表面。真空電暈狀態(tài)下的氧電暈為淺藍色，而局部放電條件下類似白色。放電環(huán)境光線比較明亮，肉眼觀察可能看不到真空室內的放電。

降解揮發(fā)性為傳統(tǒng)的有機污染物（VOCs）處理方法，電暈駐極處理架子如吸收、吸附、冷凝、燃燒等，在氣態(tài)污染物處理方面具有明顯優(yōu)勢。其基本原理是在電場的加速作用下產生高能電子。當電子的平均能量超過目標分子的化學鍵能時，分子鍵斷裂，達到消除氣態(tài)污染物的意圖。在常規(guī)意義上，電暈形狀是中性氣體中相當數(shù)量的電離。當氣體的溫度上升到其粒子的熱動能可以與氣體的電離能相比時，粒子之間碰撞后可以發(fā)生許多電離過程。

低溫電暈中富含化學活性高的粒子，電暈駐極處理架子如電子、離子、自由基和激發(fā)分子等。廢氣中的污染物與這些能量較高的活性基團反應，最終轉化為CO2和H2O，進而達到凈化廢氣的意圖。10.適用范圍廣，凈化力高，特別適用于其他方法難以處理的多組分惡臭氣體，如化工、醫(yī)藥等行業(yè)。此外，低溫電暈廢氣處理設備占地面積也較??；電子能量高，能與所有惡臭氣體分子一起工作；運營成本低；快速響應，非?？斓赝Ｖ梗S用隨開。

這些問題都會對盒貼工藝產生一定的影響，電暈駐極處理架子特別是模切盒邊緣粗糙時，容易產生紙屑，會被靜電粘附在盒壽命上，降低盒貼膠的開孔強度，甚至導致裂紋，從而影響盒的最終成型效果。電暈對膏盒部分進行處理，去除有機污染物，清洗粘接材料表面后，粘接材料表面發(fā)生許多物理化學變化，如刻蝕、粗糙，形成致密的交聯(lián)層，或引入含氧極性基團，使親水性、附著力、可染性、生物相容性和電性能分別得到提高。

電暈駐極處理裝置安裝示意圖

ICP刻蝕輝光放電產生的活性所產生的活性粒子擴散到襯底表面，發(fā)生化學反應，會產生一些不揮發(fā)的產物，來不及在襯底表面解吸沉積。此外，一些離子對襯底產生物理轟擊撞擊破壞表面晶格陣列，導致基材表面出現(xiàn)孔洞和坑洞，造成材料表面質量的下降。同時，由于硅和碳化硅的存在，使得原襯底表面的結構不均勻。

極耳整平后，利用電暈處理設備進行沖洗，去除物體和顆粒，提高后續(xù)激光焊接的可靠性。汽車上使用的動力鋰電池分為正負極，是由電芯引出的金屬片。一般來說，電池的正負極是充放電時的接觸點。接觸面的清潔與否會影響電氣連接的可靠性和耐久性。在鋰電池電芯生產過程中，電極耳經常出現(xiàn)凹凸不平、彎曲扭曲等現(xiàn)象，造成假焊、假焊、短焊等現(xiàn)象。

用于清潔氣體和電暈設備的污染物也應該有不同的選擇。當一個蒸汽滲透一個或多個額外的蒸汽時，這些元素的混合物將產生所需的腐蝕和清潔效果。利用電暈設備中的離子或高活性原子，使表面污染物碰撞或形成揮發(fā)性蒸汽，通過真空系統(tǒng)帶走，凈化表面?？諝庵械难鯕?，如甲烷，在高頻電磁場中。在電弧放電條件下，水蒸氣等蒸氣分子在快速電磁場中可以在低壓下精制氧氣。

這種氧化膜不僅阻礙了半導體制造的許多步驟，而且含有一些金屬雜質，在一定條件下會轉移到晶圓上形成電缺陷。這種氧化膜的去除常通過在稀氫氟酸中浸泡來完成。電暈在半導體晶圓清洗工藝中的應用電暈清洗具有工藝簡單、操作方便、無廢物處理和環(huán)境污染等優(yōu)點。但不能去除碳和其他非揮發(fā)性金屬或金屬氧化物雜質。光刻膠的去除過程中常采用電暈清洗。

電暈駐極處理架子