不同氣體形成的電暈可以形成不同的活性基團(tuán),塑料表面打印電暈處理如-OH(羥基)或NH2(氨基)。這些活性基團(tuán)可以集中在材料的表層,使得兩種不同物質(zhì)的結(jié)合變得容易,這是傳統(tǒng)表面處理工藝無(wú)法比擬的。借助低溫電暈技術(shù),可以簡(jiǎn)單有效地對(duì)材料表面層進(jìn)行活化或化學(xué)改性。電暈處理在許多現(xiàn)代工業(yè)技術(shù)中得到了應(yīng)用,證明了其在改善材料加工性能方面的優(yōu)勢(shì),如粘接、印刷、涂層等?,F(xiàn)已廣泛應(yīng)用于許多行業(yè)。
同時(shí),塑料表面電暈處理加工由于對(duì)精密加工的要求越來(lái)越嚴(yán)格,這些殘留物往往對(duì)工藝和產(chǎn)品的可靠性產(chǎn)生不利影響。
顯然,塑料表面電暈處理加工熱電暈不適合加工材料,因?yàn)榈厍蛏蠜](méi)有任何材料能承受熱電暈的溫度。與熱電暈相比,低溫電暈的溫度僅在室溫或略高,電子溫度高于離子和原子溫度,通??蛇_(dá)0.1~10電子伏特。鑒于氣體壓力低,電子和離子很少碰撞,因此不能達(dá)到熱力學(xué)平衡。鑒于低溫電暈的溫度,可用于材料工業(yè)領(lǐng)域。通過(guò)輝光放電獲得低溫電暈:輝光放電應(yīng)為低壓放電,工作壓力通常小于十毫巴。
施加足夠的能量使氣體電離,塑料表面電暈處理加工就變成了電暈狀態(tài)。電暈的“活性”成分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。電暈就是利用這些活性成分的性質(zhì)對(duì)樣品表面進(jìn)行處理,從而達(dá)到清洗等目的。電暈和固體、液體或氣體一樣,是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫物質(zhì)的第四態(tài)。施加足夠的能量使氣體電離,就變成了電暈狀態(tài)。
塑料表面打印電暈處理
綜上所述,將動(dòng)力電池組生產(chǎn)工藝應(yīng)用于電暈是一種理想的選擇。。常壓電暈的技術(shù)發(fā)展歷程目前微電子行業(yè)使用的電暈大多是在真空條件下完成的,真空環(huán)境下的電暈保證了產(chǎn)品表面處理的均勻性。然而,真空電暈為了滿(mǎn)足真空條件,所需投資在整個(gè)項(xiàng)目投資中占了很大比例。
這些離子具有很高的活性,其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,并在任何暴露的表面上引起化學(xué)反應(yīng)。不同氣體的電暈具有不同的化學(xué)性質(zhì)。例如,氧電暈氧化性高,可氧化光刻膠產(chǎn)生氣體,從而達(dá)到清洗效果。腐蝕氣體的電暈具有良好的各向異性,可以滿(mǎn)足刻蝕的需要。電暈處理會(huì)發(fā)出輝光,故稱(chēng)輝光放電處理。輝光放電時(shí),電子和正離子在放電管兩極電場(chǎng)的作用下分別向陽(yáng)極和陰極移動(dòng),在兩極附近堆積形成空間電荷區(qū)。
以及富含聚合物的蝕刻工藝傾向于減小工藝窗口以保證接觸孔的良好開(kāi)度,控制接觸孔的側(cè)壁形狀以高寬比和良好的尺寸均勻性,這些都是工藝集成對(duì)蝕刻工藝提出的要求,以實(shí)現(xiàn)更嚴(yán)苛的電特性。此外,光刻需要更薄、更少未顯影的光刻膠用于圖案曝光,這就增加了接觸孔蝕刻工藝對(duì)光刻膠的選擇性,以防止接觸孔圓度惡化。
受益于PCB行業(yè)產(chǎn)能持續(xù)向國(guó)內(nèi)轉(zhuǎn)移,受通信電子、消費(fèi)電子、計(jì)算機(jī)、汽車(chē)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、國(guó)防航空航天等下游領(lǐng)域需求增長(zhǎng)強(qiáng)勁刺激,近年來(lái)我國(guó)PCB行業(yè)增速顯著高于全球PCB行業(yè)增速。雖然我國(guó)已經(jīng)毋庸置疑地成為世界PCB大國(guó),但我國(guó)PCB產(chǎn)業(yè)并沒(méi)有形成完整的產(chǎn)業(yè)鏈,這就造成了我國(guó)PCB產(chǎn)業(yè)大而不強(qiáng)的困境。中國(guó)的PCB產(chǎn)值在世界上是DI1,企業(yè)數(shù)量在世界上也是多的。
塑料表面打印電暈處理
利用電暈高能粒子與數(shù)據(jù)表面產(chǎn)生物理和化學(xué)反應(yīng),塑料表面打印電暈處理可以完成活化、刻蝕、去污等過(guò)程,提高數(shù)據(jù)的沖突因子、附著力、親水性等多種表面功能。1.對(duì)數(shù)據(jù)外觀的蝕刻效應(yīng)--物理效應(yīng):電暈中的許多活性粒子,如離子、激發(fā)分子、自由基等,對(duì)固體樣品的外觀有影響,不僅消除了原有的污染物和雜質(zhì)對(duì)外觀的影響,還會(huì)產(chǎn)生蝕刻效應(yīng),使樣品的外觀變得粗糙,形成許多微小的坑洞,從而增加樣品的特定外觀。提高固體外觀的潤(rùn)濕功能。
因?yàn)殡娮邮紫任针娫垂┙o的能量,塑料表面電暈處理加工然后被加熱到幾萬(wàn)度,所以重粒子幾乎處于室溫。正是由于這種非熱力學(xué)平衡特性,低壓電暈在工業(yè)上有著重要的應(yīng)用。在溫度高達(dá)10,000 K時(shí),電子能量分布的很大一部分用于將工作氣體分子解離為活性物種(原子、基團(tuán)和離子)。因此,非平衡電暈實(shí)際上是將電能轉(zhuǎn)化為工作氣體的化學(xué)能和內(nèi)能,這種化學(xué)能和內(nèi)能可用于材料的表面改性。