AlGaN/GaNHEMT元器件在A1GaN與GaN端口上,無錫高附著力噴碼機(jī)在GaN與GaN界面上均可形成2DEG的表面通道,而這兩個(gè)DEG受柵極工作電壓控制。
等離子清洗/刻蝕機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng),無錫高附著力樹脂批發(fā)價(jià)格用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來愈長(zhǎng),受電場(chǎng)作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,在任(何)暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng),不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體,從而達(dá)到清洗的效(果);腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性,這樣就能滿足刻蝕的需要。
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等離子清洗機(jī)原理:等離子是物質(zhì)存在的狀態(tài)一般來說,無錫高附著力噴碼機(jī)物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)三種狀態(tài)存在,但在特殊情況下,還有第四種狀態(tài),例如地球大氣電離層中的物質(zhì)。以下物質(zhì)以等離子體狀態(tài)存在:快速運(yùn)動(dòng)的電子、活化的中性原子、分子、原子團(tuán)(自由基)、電離的原子和分子、未反應(yīng)的分子、原子等,該物質(zhì)整體保持電中性。在真空室內(nèi),高頻電源在恒壓下產(chǎn)生高能混沌等離子體,等距子體撞擊待清潔物體表面。達(dá)到清潔的目的。
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(1) 電場(chǎng)+電子→高能電子(2)高能電子+分子(或原子)→(激發(fā)原子、激發(fā)自由基、自由基)活性基團(tuán)(3) 活性基團(tuán)+分子(原子)→產(chǎn)物+熱(4) 活性基團(tuán)+活性基團(tuán)→產(chǎn)物+熱 從上述過程可以看出,電子首先從電場(chǎng)中獲得能量,然后通過激發(fā)或電離將能量傳遞給分子或原子。獲得能量的分子或原子被激發(fā),一些分子被電離成活性基團(tuán)。這些反應(yīng)基團(tuán)與分子或原子、反應(yīng)基團(tuán)和反應(yīng)基團(tuán)碰撞后,產(chǎn)生穩(wěn)定的產(chǎn)物和熱量。
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