（等離子體表面處理）根據(jù)等離子體中粒子的不同，電暈機(jī)輸出功率過(guò)載物體處理的具體原理也不同，輸入氣體和控制功率不同，都實(shí)現(xiàn)了物體處理的多樣化。（等離子體表面處理）由于低溫等離子體在物體表面的強(qiáng)度小于高溫等離子體，可以保護(hù)被處理物體的表面。在應(yīng)用中，我們多采用低溫等離子體。而各種粒子在處理物體過(guò)程中的作用也各不相同。

這主要是因?yàn)楦鶕?jù)處理材料的不同，電暈機(jī)輸出功率極少量的物質(zhì)不會(huì)被真空泵抽走，而是附著在電極表面。如果不定期清除它們，在長(zhǎng)期積累下，電極表面容易被污染物堵塞。如果電極板絕緣層的表面形狀被污染物屏蔽，相當(dāng)于使電極的電容變大，放電所需的功率也會(huì)更高；當(dāng)電極表面被導(dǎo)體粉末或碳等污染物屏蔽時(shí)，電極的電容變小，放電功率減小，可能會(huì)發(fā)生拉弧，電極局部溫度會(huì)很高。。

等離子體處理后，電暈機(jī)輸出功率計(jì)算可超清潔去除holder上的有機(jī)污染物和活性基板，使holder與IR的附著力提高2~3倍，同時(shí)去除焊盤(pán)表面的氧化物并使表面粗化，大大提高了鍵合成功率。等離子體表面處理不僅廣泛應(yīng)用于手機(jī)行業(yè)，在新能源太陽(yáng)能電池上也有重大突破。等離子體表面處理技術(shù)是一種經(jīng)濟(jì)有效的太陽(yáng)能電池邊緣隔離技術(shù)，已廣泛應(yīng)用于電池生產(chǎn)線。

高頻驅(qū)動(dòng)等離子體發(fā)生器中等離子體電位的振蕩也使分析復(fù)雜化。為了消除低溫等離子體表面處理過(guò)程中電位振蕩對(duì)探針測(cè)量的影響，電暈機(jī)輸出功率過(guò)載由于探針一般采用準(zhǔn)靜電方法，通常使探針偏置電壓與等離子體一起振動(dòng)。因此，如何優(yōu)化等離子體發(fā)生器探針的分析結(jié)果？探測(cè)理論一般假定等離子體中的電子具有麥克斯韋分布。但在很多情況下，電子會(huì)偏離麥克斯韋分布。因此，在一般測(cè)量電子能量分布函數(shù)時(shí)，可直接用于計(jì)算低溫等離子體發(fā)生器的等離子體密度。

電暈機(jī)輸出功率

PVD、CVD、PCVD技術(shù)的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)各種類型的氣相沉積是世界各國(guó)著名研究機(jī)構(gòu)和大學(xué)正在開(kāi)展的具有挑戰(zhàn)性的研究課題。近年來(lái)，該技術(shù)廣泛應(yīng)用于信息、計(jì)算機(jī)、半導(dǎo)體、光學(xué)儀器等行業(yè)，以及電子元件、光電子器件、太陽(yáng)能電池和傳感器件的制造。

不同的是，一個(gè)是通過(guò)硬件按鈕控制，一個(gè)是通過(guò)觸摸屏內(nèi)部的虛擬按鈕控制。硬件按鈕驅(qū)動(dòng)繼電器線圈，觸摸屏按鈕驅(qū)動(dòng)控制器軟元件。控制器通過(guò)邏輯計(jì)算將結(jié)果輸出到控制器輸出端，驅(qū)動(dòng)中間繼電器動(dòng)作，中間繼電器觸點(diǎn)驅(qū)動(dòng)真空泵交流接觸器線圈觸點(diǎn)導(dǎo)通和關(guān)斷，從而控制真空泵電機(jī)三相電導(dǎo)通和關(guān)斷。2-2自動(dòng)控制方式自動(dòng)控制就是按下自動(dòng)按鈕，即所有動(dòng)作自動(dòng)按序執(zhí)行，真空泵的啟停通過(guò)相應(yīng)的邏輯條件穿插在整個(gè)工藝控制流程中。

射頻與中頻、真空等離子清洗機(jī)區(qū)分小貼士：中頻等離子清洗機(jī)為中頻，40kHz中頻電源由16位微控制器主導(dǎo)，以功率器件為功率輸出單元，采用數(shù)字分頻、鎖相、波形瞬時(shí)反饋、SPWM脈寬調(diào)制、IGBT輸出等新技術(shù)，采用模塊化結(jié)構(gòu)，負(fù)載適應(yīng)性強(qiáng)，效率高，穩(wěn)定性好，輸出波形質(zhì)量好，操作簡(jiǎn)單，體積小，重量輕，智能控制，具有異常保護(hù)功能，輸出頻率可調(diào)，輸出響應(yīng)快，過(guò)載能力強(qiáng)，全隔離輸出，使用壽命長(zhǎng)，抗損壞性好。

等離子清洗機(jī)特殊的電極和托盤(pán)結(jié)構(gòu)，可以充分利用真空室內(nèi)部空間，使處理效率得到提高的同時(shí)，保證樣品能夠得到有效清洗。等離子處理器特有的過(guò)載、短路、過(guò)熱保護(hù)電路，可確保射頻電源的穩(wěn)定和安全。等離子清洗機(jī)設(shè)備整體模塊化設(shè)計(jì)，安裝維護(hù)極其簡(jiǎn)單。對(duì)于形狀復(fù)雜的樣品，等離子清洗機(jī)可以找到合適的解決方案。等離子清洗機(jī)可清洗固體樣品的內(nèi)部位置。。

電暈機(jī)輸出功率過(guò)載

PTL等離子體表面處理系統(tǒng)的特性研究；等離子清洗機(jī)清洗效果好，電暈機(jī)輸出功率計(jì)算效率高，適用范圍廣。對(duì)于清洗樣品，對(duì)材料、外觀尺寸等沒(méi)有要求。在等離子體清洗過(guò)程中，溫升很小，基本可以達(dá)到常溫處理。射頻功率無(wú)級(jí)連續(xù)可調(diào)。高效專用電極是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。特殊的電極和托盤(pán)結(jié)構(gòu)，可充分利用真空室內(nèi)部空間，使處理效率最大化，確保樣品產(chǎn)品可有效清洗。特殊的過(guò)載、短路、過(guò)熱保護(hù)電路，保證射頻電源的穩(wěn)定和安全。